二手 TEL / TOKYO ELECTRON UNITY IIE 845DD #9377255 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIE 845DD是微電子工業中先進的矽晶片蝕刻器/灰化器。它設計為蝕刻和灰矽晶片具有高精度和精確度。845DD 蝕刻器/asher利用3軸（x-y-z）機器人進行自動晶圓操作。它使用具有三個高分辨率線性級的精密晶圓機械手機器人，使晶圓能夠在過程中的腔室和多個晶圓艙之間進行精確的轉移，以及在過程腔室中對晶圓進行精確、高速的操作。晶片吊艙為晶片在加工過程中提供了安全穩定的環境。845DD蝕刻器/灰化器配備了主動冷卻設備和晶圓加工室和晶圓吊艙的高效加熱系統。主動冷卻裝置的溫度控制精度為0.1°C,能夠在短短幾分鐘內將晶圓加工室和晶圓吊艙冷卻到-15°C的溫度。加熱機具有雙區溫度控制功能，能夠將晶圓加工室快速加熱至所需的設定溫度。845DD 蝕刻器/asher還配備了先進的3D抵抗成像功能。這種能力包括激光蝕刻，用於以非平面方式繪制3D抗蝕劑的圖樣，允許在晶圓上形成復雜的3D結構。845DD 蝕刻器/asher還具有高級配方管理功能,可加快流程開發和優化速度。845DD 蝕刻器/asher能夠同時處理多個晶片,其處理時間取決於要蝕刻/研磨的晶片類型和所需的工藝結果。根據應用情況，它可以蝕刻/灰晶片，橫向或深度分辨率小至1nm。845DD 蝕刻器/asher還配備了可靠的安全工具和強大的監控資產，以確保平穩無誤的操作。總體而言,TEL UNITY IIE 845DD為微電子行業提供了可靠、高精度的蝕刻器/灰化器。它具有先進的機器人技術和廣泛的蝕刻和灰化功能,使其成為制造復雜的3D電子設備的合適工具。