二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 85 DPATC #9091881 待售
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ID: 9091881
晶圓大小: 6"
優質的: 1996
Etcher, 6"
Wafer type: Flat-zone
Processing type: Vacuum
Wafer loading type: Normal
(2) Chambers
Mass flow controller:
Gas No / Gas Name / MFC Size (SCCM)
Gas #1 SF6, 200
Gas #2 HE, 1 SLM
Gas #3 O2, 20
Gas #4 AR, 1SLM
Gas #5 CHF3, 100
Gas #6 CF4, 100
Pressure controller V/V:
Item / Make / Model
ISO V/V (PC1), FUJI SEIKI, 6000729
ISO V/V (PC2), FUJI SEIKI, 1616812
APC (PC1), VAT, 61140-PH52
APC (PC2), VAT, 61140-PH52
Gauge:
Unit / Make / Model / Range
Baratron, MKS, 622A02TAB, 2 Torr
Baratron, MKS, 622A02TAB, 2 Torr
Baratron, MKS, 622A11TAE, 10 Torr
Baratron, MKS, 622A01TAE, 1 Torr
System:
Description / Make / Model
Robot, YASKAWA, VS2A
Robot controller, YASKAWA, SRC-II 004
TMP (PC1), SEIKO SEIKI, STP-H751E
TMP controller (PC1), SEIKO SEIKI, STP-H751E
TMP (PC2), EDWARDS, STP-H751E2
TMP controller (PC2), SEIKO SEIKI, STP-H751E
Generator (PC1), DAIHEN, MFG-20SA
Generator (PC2), DAIHEN, MFG-20SA
Matcher (PC1), DAIHEN, MFM-20AS
Matcher controller (PC1)
Matcher (PC2), DAIHEN, MFM-20AS
Matcher controller (PC2)
EPD (PC1)
EPD (PC2)
HDD (Data): HDS728080
AC rack (PCB):
SVA004a
SVA603
MVME162
TVB0002
TVB3101
TVB0008
TC (PCB):
COM
DIO1
DIO2
MAIO
ILK
PC1:
APC
DIO
MAIO
COM
TEMP
PC2:
APC
DIO
MAIO
COM
TEMP
1996 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe 85 DPATC是一種等離子體增強反應性離子蝕刻器（PE-RIE），設計用於半導體器件制造等相關行業。該設備旨在為晶片或其他工件的蝕刻提供最大的性能、準確性和可重復性。Unity IIe 85具有精密的高真空室、高容量的吞吐量傳輸和先進的控制系統。該腔室耐塗層，為長期可靠性和高精度蝕刻而設計。Unity IIe 85 PE-RIE擁有大容量、3軸傳輸單元，最高溫度為450°C。這臺水平運輸機提供精確的晶片傳輸和定位，保持晶片上均勻、恒定和可重復的蝕刻速率。腔室還提供精確的壓力控制，確保過程參數保持不變。蝕刻速率可以實時調整，允許精確控制蝕刻過程的參數。利用Unity IIe 85實現了蝕刻過程的自動化,簡化了過程以確保可重復和可靠的結果。該工具配備了「離線參數設置」功能,該功能允許在加載任何晶片之前輸入和優化每個蝕刻過程的數據。然後利用可在室內和遠程監測的實時監測資產，從室內監測和調整蝕刻過程。Unity IIe 85使用先進的控制技術來保持其高精度和重復性。該模型利用射頻發生器產生等離子體，然後由壓力、溫度、氣流和電流等多種參數調節。設備還利用IIe控制器調節射頻發電機的電感。Unity IIe 85是一種先進、可靠的PE-RIE系統，設計用於半導體制造及相關行業。它提供了最高級別的性能、準確性和可重復性,並且能夠通過實時監視和控制實現自動蝕刻過程,從而使用戶能夠獲得最高級別的精度和生產吞吐量。
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