二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 855DD #293645122 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe 855DD是一種先進的生產級單晶圓沖洗、蝕刻、ashing工具，用於45nm以下的工藝節點和更少的節點。這種蝕刻器/粉碎器的優點包括顆粒碎片最小化、殘留物體積極低、每小時高達25個晶圓的高通量、8英寸（200毫米）的最大晶圓尺寸以及改進的表面性能均勻性。TEL UNITY IIE 855 DD擁有先進的生產水平車載氣體分配設備，以優化超高真空（UHV）處理性能。該系統是通過使用內部氣體動力閥（GDV）在20 Torr至10-9 Torr以下的壓力下運行而實現的。它還具有一個脈沖射頻等離子體去除裝置（PRFS），它通過控制釋放的化學物質的數量和提高脈沖速率來改進蝕刻過程。最後，TOKYO ELECTRON UNITY II E-855DD配備了多淋浴頭設計，實現了3維均勻膜沈積。TOKYO ELECTRON UNITY IIe 855DD提供各種特性的緊密膜厚度控制,以支持高厚度精度。這些特性包括高壓共沈積（HVCD）、偏置增強高密度等離子體（BEHDP）和多模等離子體（MMP）。HVCD支持超精確厚度控制,而BEHDP控制反應物的數量。利用MMP功能，沈積速率可以向上或向下增加，以實現薄膜特性的微調。這使得不同的薄膜厚度可以應用於基板的不同部分，以最大限度地提高蝕刻工藝。TEL/TOKYO ELECTRON UNITY II E- 855DD還通過蝕刻、灰泥和阻尼工藝的組合提供獨特的清潔能力。蝕刻過程集中於去除基板表面上不需要的元素。灰化過程清除汙垢和其他有機汙染物。最後，阻尼工藝使用低壓氣刀在蝕刻和灰化後有效幹燥基材。TEL UNITY II E-855DD還提供了廢水監視器控制（EMC）,用於在蝕刻和灰化過程中實時檢測和監控Cd、Hg和Pb顆粒。此監控功能與監控控制單元集成，並自動過濾有害物質。簡而言之,UNITY II E-855DD是一款先進的生產級蝕刻器/asher,可提供卓越的性能和準確性,以確保超低體積工藝節點的最高質量蝕刻和灰度處理結果。其先進的生產級車載氣體分配機和獨特的清潔能力,以及集成的廢水監控控制（EMC）,使Unity IIe 855DD生產超細基材的清脆清潔蝕刻和灰化膜的理想工具。
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