二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 855DD #293646424 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe 855DD是一種蝕刻器/asher設備，用於制造高質量的半導體薄膜，用於多種應用。該系統由兩個主要組件組成：一個等離子體蝕刻室和一個熱壁沈積室。蝕刻室利用預編程配方，以等離子體偏置的方式蝕刻圖樣，而沈積室則可透過幾種等離子體來源之一製造超薄膜。此外，該裝置還配備了自動晶片盒式裝載機，允許無縫晶片傳輸。TEL UNITY IIE 855 DD內置了工藝監視器和曲線示蹤器，為用戶提供了可用於現場監控工藝條件的五英寸彩色液晶顯示屏。該機器還配備了一個原位監視器，提供對基板溫度、壓力、氧氣流量和其他工藝參數的精確控制，以便為給定的應用創建所需的薄膜。TOKYO ELECTRON UNITY II E-855DD是一個集成的蝕刻/沈積工具，允許用戶在單次運行中批量蝕刻和沈積。它包括一個集成的質量流控制器，用於精確調整和監測送入等離子體形成區的氣體的混合物和總流量。該資產能夠在廣泛的頻率範圍內產生高達10^13 cm^-3的等離子體密度和微小的自偏置等離子體蝕刻電位,調諧精度高達0.5V。為了減少顆粒汙染和提高薄膜質量，TEL Unity IIe 855DD采用了先進的等離子體源清潔技術，不使用蝕刻室外的任何苛刻化學品。該模型包括一個自動的原位清洗程序，可以在蝕刻周期之前和期間清洗等離子體源。最後，設備包括先進的DOVE高速率沈積技術，它結合了獨特的高密度等離子體源和低壓蝕刻室。這一技術允許沈積更緊密的保形膜，具有更高的蝕刻速率和更好的階梯覆蓋。Unity IIe 855DD是在半導體薄膜沈積和蝕刻領域操作的用戶的理想工具。
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