二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 855DD #293646425 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe 855DD是一款具有三室設計的高性能蝕刻器/asher。它配備了獨特的雙模蝕刻/灰分方法，將蝕刻和沈積過程單步結合。這種方法能產生很高的生產率、均勻性,並且產生的廢物極少。TEL UNITY IIE 855 DD的腔室尺寸為425 x 425 x 200 mm，允許大容量同時處理多個基板。它配備了雙軸X-Y掃描能力，允許精確定位蝕刻和沈積。它還有一個可編程的基板升空機構，允許它在以更高的速度運行時以更高的精度運行。蝕刻器/asher還配備了一系列先進的自動化和控制，包括自動晶片裝卸、實時遠程監控和診斷，以及功能強大的過程控制算法。TOKYO ELECTRON UNITY II E-855DD能夠自動生成不同應用的最佳蝕刻/灰分配方。此外，它的設計能夠在不使用蝕刻氣體的情況下工作，使其適用於不同類型的蝕刻和沈積過程。UNITY II E-855DD增加了環境監測系統和氮氣噴湧保護系統等安全特性，降低了蝕刻氣體爆炸的風險。它還有一個自動清洗系統，不需要頻繁的維護。TEL UNITY II E-855DD設計具有寬闊的工藝窗口和高效的等離子體源，適合高通量蝕刻和高質量的沈積應用。總體而言,UNITY II E- 855DD是一款功能強大且用途廣泛的蝕刻器/asher,具有許多高級功能。它具有全面的過程控制軟件、自動化和安全特性，是高精度蝕刻沈積工藝的絕佳選擇。此外，其高效的等離子體源和寬廣的工藝窗口使其既適用於高通量的應用，也適用於高質量的應用。