二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 855DD #293646444 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe 855DD是專門為光伏（PV）應用而設計的蝕刻器/asher。該設備是一種經濟高效且用途廣泛的大面積設備制造解決方案。TEL UNITY IIE 855 DD由氣體面板和渦輪泵單元組成。燃氣面板提供精確和可預測的氮氣氣氛，而渦輪泵單元則實現了平穩高效的轉移，從而確保了整個蝕刻過程的均勻反應。燃氣面板和渦輪泵單元能夠實現高精度，確保嚴格的過程控制。TOKYO ELECTRON UNITY II E-855DD還配備了最先進的傳感器系統，確保每次都能進行準確一致的處理。它旨在監測關鍵化學品的壓力、溫度、流量和分布，使用戶能夠獲得有關該過程的實時數據和分析。這種反饋有助於提供最佳的蝕刻結果，有助於生產高質量和無缺陷的光伏電池。TOKYO ELECTRON UNITY IIe 855DD具有石英金屬熱壁CVD,用於蝕刻前的保護性塗層.其工藝速度高達300 mm/min，蝕刻深度在500至1000 nm之間。其腔室尺寸為600 x 600毫米，功率為2 kW。該單元還包括一個電動升降機和傾斜盤，掃描範圍為100 x 100毫米。此外,UNITY II E-855DD在設計時考慮到了流程的靈活性,並且可以以最小的工作量快速地將其重新配置為不同的流程配方。這樣可以確保用戶從快速周轉時間中受益,並在生產過程中獲得最大的效率。TEL Unity IIe 855DD 蝕刻器/asher是用於PV設備制造的出色解決方案,可提供精確度、過程控制和數據反饋。它也極具彈性，旨在以最小的努力生產大面積、高品質的蝕刻。
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