二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 855DD #293759382 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe 855DD是一種先進的蝕刻/asher設備，設計用於處理多種底物和工藝。該系統采用全7英寸板材,可容納直徑不超過8英寸的晶片,為各種應用程序提供經濟高效的工藝靈活性。此外,可編程板材配置允許快速、方便地設置,以滿足所有流程需求。TEL UNITY IIE 855 DD堅固可靠的設計包括不銹鋼內室、先進的工藝控制模塊、溫度比例、AMAT模型855DD型射頻源、直流源、深度蝕刻能力、PECVD高功率源以及附加的處理和蝕刻工藝工具。該單元還配備了帶有可選條形碼閱讀器和手動並行加載選項的20槽開放式框式盒式裝載機；以及一個多氣體輸送裝置，具有氣體流量監測器、壓力調節和控制以及質量流量控制器。該機具有高精度、先進的過程控制工具,用戶可以精確設置和維護壓力、溫度和偏置控制設定點。TOKYO ELECTRON UNITY II E-855DD還提供排氣控制、NFC清潔開合以及預防性「中止」按鈕，以防止意外過程啟動或設備損壞。此外，該資產還帶有內置的可編程保護，以確保工藝人員和設備的安全。TOKYO ELECTRON UNITY II E-855DD提供最多兩臺顯示器,允許用戶在處理過程中跟蹤溫度、壓力和其他過程監控參數。該模型采用內置配方存儲設備,允許用戶一次存儲和召回多達128種獨特配方。該系統還包括一個10設定壓力控制器，用於優化單晶片和批處理的蝕刻過程。TEL/TOKYO ELECTRON UNITY II E-855DD能夠捕獲多種數據,包括但不限於蝕刻室時間、壓力和溫度設定點,以及來自晶圓圖像捕獲、薄膜測量和光刻膠的其他實時數據。可以收集和報告這些數據以供分析。該單位還提供一個綜合健康監測機，用於持續監測和冷卻工具的維護。綜上所述，TOKYO ELECTRON UNITY IIe 855DD是一種蝕刻/asher資產，提供廣泛的中間和高級工藝能力。擁有堅固的不銹鋼腔室、綜合過濾、先進的公交車監控以及附加的安全元件，該車型高效可靠的同時也提供了成本效益。