二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 855DD #9109094 待售

TEL TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe 855DD是一種高性能的自動化蝕刻器/asher設備,旨在提供半導體應用中的精密蝕刻和灰化工藝。該系統在各種半導體晶片的蝕刻和灰化配方方面提供了廣泛的選擇，如Si、GaAs、GaP、AL、InP和CdZnSe。TEL UNITY IIE 855 DD采用經典ICP（感應耦合等離子體）技術與RIE（反應性離子蝕刻）相比，減少了等離子體汙染，提高了選擇性。此單元的最大蝕刻速率高達1微米/秒,可提供快速、高通量的蝕刻和灰化。TOKYO ELECTRON UNITY II E-855DD還提供多步蝕刻、配方運行、配方回收和可追溯記錄等高級功能。該機配備了最先進的真空沈澱室，提供卓越的工藝均勻性，集成真空泵和先進的氣體處理工具，可重復工藝和可重復效果。TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIE 855 DD還具有高級配方編輯軟件包，用於用戶友好的配方管理。TEL UNITY II E-855DD配備15英寸液晶彩色顯示器，兩個觸摸屏，一個鍵盤，一個鼠標和廣泛的軟件程序選擇。設備包括等離子體、等離子體閥箱資產、遠程等離子體源、cotrap電源、等離子體監測儀、石英敏感器基座等輔助設備。此外,該模型還配置了專用的高級薄膜沈積模塊,如其自動薄膜沈積設備,該設備使用電源線來提高薄膜質量和自動薄膜控制系統（AFCS）。這一單元還設計了全安全協議，包括互鎖、氣壓傳感器、嚴酷的真空互鎖、液體陷阱排除以及等離子體perma-position探測器。它還提供了一個可選的自動晶片轉換機和改進的E-chamber清潔改善蝕刻和灰化性能。總之，UNITY IIE 855 DD是一種專門為滿足半導體行業需求而設計的自動化蝕刻/asher工具。它提供了一系列減少等離子體汙染、改進選擇性、高通量蝕刻和灰化、高級薄膜沈積模塊和全安全協議的功能。