二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 855DD #9109095 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe 855DD是一種雙車道蝕刻器/asher,非常適合工業或大學級生產。它提供了與標準工具(如步進器、機器人和真空室)的高度集成。該設備設計用於支撐多種基材,包括矽片、玻璃、金屬和有機材料。它也與幾種領先的光刻技術兼容。TEL UNITY IIE 855 DD是一種高性能工具,具有集成的過程控制功能,可實現卓越的吞吐量和可重復的結果。它配備了自動晶圓交換,可以方便、安全地在不同階段處理多個基板。該855DD還具有高級流程控制功能,可實時反饋流程參數。它可以自動檢測異常並做出適當的反應,允許使用最少的操作員交互來實現一致的蝕刻配置文件。在過程控制方面,855DD有一個集成氣體排氣系統,該系統配備了專有的傳感器技術,以確保可靠的蝕刻速率和化學終止。它還具有一個電機控制器來精確管理過程運動和舞臺運動速度。該855DD還有一個集成的可追蹤性和數據存儲單元,用於準確的過程控制。它能夠使用集成激光掃描儀讀取蝕刻數據和條形碼,以改進質量控制和數據存儲。該855DD還可以存儲和監視設備狀態、可追蹤性數據和操作歷史以及機器故障信息。TOKYO ELECTRON UNITY II E-855DD使用基於PC的用戶界面,該界面提供全流程控制、監控、數據存儲以及一系列報告選項。直觀的操作和圖形用戶界面使得設置和使用變得容易。UNITY II E-855DD除了其高度的集成和控制外,還為可靠性、安全性和軟著陸而設計。該工具完全符合國際安全標準,並配有用於安全晶片處理的機械快門和用於控制過程煙霧的保護材料。Unity IIe 855DD是一種易於使用的雙車道蝕刻器/asher,適用於工業或大學級生產。它提供了增強的控制和與標準工具的集成,以實現高效的過程控制和數據存儲。直觀、用戶友好的界面和可靠的排氣工具使其成為工業環境的理想選擇。TEL/TOKYO ELECTRON UNITY II E-855DD以其高效、安全的操作,是任何生產環境的理想選擇。
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