二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 855DD #9219373 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe 855DD是一種先進的濕蝕刻器和asher工具，設計用於處理半導體晶片和其他基板。此工具能夠執行蝕刻、灰分和其他各種相關過程。該855DD配備了全自動集成系統，用於控制工藝環境、優化蝕刻條件和監控晶圓均勻性。該855DD是一種多用途工具，能夠執行各種過程，如深反應性離子蝕刻（DRIE）、化學濕蝕刻、氫氟酸（HF）蝕刻、RIE/蝕刻/灰分、濕灰和離子銑削。該855DD采用場發射掃描電子顯微鏡（FESEM）等邊緣技術，對工藝室環境和晶圓均勻性進行監測和控制。此外，855DD蝕刻器材料能夠加熱到400°C，以便於蝕刻過程。該855DD還具有四個自動流程預置,可輕松設置和易用性。該855DD專為在集成系統中實現蝕刻和灰化過程而設計。此集成可確保在整個蝕刻和灰化過程中獲得最佳結果。該855DD包含了廣泛的流程選項,能夠嚴格控制多個流程參數,以實現所需的結果。它配有一個自動橋，用於監測和控制氧化和蝕刻過程的均勻性。該855DD是一種通用工具，可用於各種半導體工藝。它具有集成的過程控制環境、高科技特性和自動化功能,因此非常高效。此蝕刻器和asher工具提供可靠的結果,有助於最大限度地提高效率並減少制造周期。該855DD能夠通過配置不同的晶圓蝕刻和灰化工藝來執行幹濕蝕刻和灰分操作,以滿足各種應用的特殊需求。