二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 855DD #9246928 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe 855DD是一種針對半導體器件制造中的多種應用而設計的蝕刻器/asher。它是一種垂直加載蝕刻器/asher，能夠產生高質量的蝕刻圖案和asher蝕刻輪廓。它的高級設計旨在提供最大吞吐量和統一的工藝條件,以確保最高級別的設備可靠性。TEL UNITY IIE 855 DD利用脈沖反向變壓器（PRT）實現最大諧振蝕刻性能。它配備了TLD32過程控制軟件（PCS）,可確保準確且可重復的過程周期,以獲得最佳的蝕刻輪廓和灰度結果。TOKYO ELECTRON UNITY II E-855DD還加入了真空門（VG），使腔室壓力在蝕刻和灰化操作中得以精確維持。Unity IIe 855DD具有許多高級功能,可確保可重復和可靠的處理。其中包括具有氣體分配系統的高重要性腔室、先進的閉環熱電冷卻環路和二維端點檢測。腔室還被不銹鋼波紋管系統包圍，以減少任何壓力變化。腔室壓力也在旋轉質量流量計中監測。TOKYO ELECTRON UNITY II E-855DD能夠處理尺寸不超過783mm x 858mm的底物。它旨在提供一致的工藝窗口和吞吐量,以實現最大效率,蝕刻圖樣深度從40 µm到600µm不等。蝕刻器/asher還配備了大型晶片加載系統，從而支持多種配方，針對每個應用進行了優化。UNITY II E-855DD旨在滿足設備制造中可靠性和可重復性的最高標準。它在850°C的最高溫度和高達10 mTorr的工藝壓力下運行。蝕刻器/asher帶有RS-232和IEEE-488.2接口,用於遠程操作和數據跟蹤。蝕刻器/asher也可以使用最新的控制和診斷系統進行升級。TEL/TOKYO ELECTRON UNITY II E-855DD是一種先進可靠的用於先進半導體器件制造的蝕刻器/灰化器解決方案。它旨在提供高吞吐量和一致性,以獲得最佳效果。其先進的特性和系統使其能夠滿足半導體制造的嚴格要求。此蝕刻器/asher能夠產生高質量的材料圖樣和工藝輪廓,同時保持其卓越的可靠性和可重復性。