二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 855DD #9303715 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe 855DD是一種用於制造多種器件或基板的高端蝕刻/灰燼設備。其先進的控制系統和直觀的用戶界面提供了卓越的性能。該單元有六個獨立的工藝室，包括一個晶圓載體，最多可容納八（8）個300 mm晶圓或四（4）個600 mm晶圓。它利用高精度線性電動機驅動器實現快速、精確的運動控制,從而實現更快的處理時間和更高的生產率。TEL UNITY IIE 855 DD旨在簡化維護並提高可維護性。卸載的工序室可以完全拆除，以進行清潔和維護，簡化工序並大幅減少停機時間。這臺機器還有一個內置的默認例程，可以最大程度地減少晶圓制備所花費的時間，從而節省更多的處理時間。為了保證質量，TOKYO ELECTRON UNITY II E-855DD有許多特點。該工具符合GEM、SEMI 6.3和SEMI 14等行業標準。其獨特的高級控制資產利用實時數據收集和反饋來控制和優化蝕刻和灰燼參數。此外，還對所有工藝步驟進行監測和控制，以改進半導體工藝。為方便操作,UNITY II E-855DD包括一個用戶友好的圖形界面。這允許用戶自定義設置並快速調用重復函數的流程配方。還提供屏幕上的幫助和故障排除建議。此外,機載診斷系統還可以輕松識別問題並快速解決問題。最後，TEL/TOKYO ELECTRON UNITY II E-855DD是一種有效的半導體制造和研發工作蝕刻/灰分模型。它的高級控制和性能功能確保了卓越的處理效果,而其用戶友好的界面和板載診斷系統有助於最大限度地減少在設置和維護上花費的時間。