二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 855DI #293645125 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe 855DI 蝕刻器/asher是一種高性能的薄膜加工設備，具有處理廣泛底物的能力。這種蝕刻器/灰化器采用先進技術制造，能夠以極其精確的控制來去除和沈積薄膜和層。TEL Unity IIe 855DI 蝕刻器/asher配備了先進的CCD成像系統,可實時監控流程性能。此單元允許進行高度精確的端點檢測,以及自動調整以考慮需要梯度密度或其他復雜配置文件的配方。TOKYO ELECTRON UNITY IIe 855DI由車載電阻式直流電源供電。此電源以及自動覆蓋保護機器可確保在整個過程中保持最佳操作參數,從而提供一致的結果和改進的過程可重復性。UnityIIe 855DI利用最先進的淋浴頭式等離子體源進行蝕刻和沈積膜。該源設計用於將能量高效傳輸到工作表面,從而實現高效加熱和冷卻。TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe 855DI 蝕刻器/asher還具有一系列可定制的功能,可為用戶提供更高程度的控制。這些功能包括完全集成的晶圓處理程序、多區域熱處理、自動級控制以及全方位的用戶可選操作參數。總體而言,TEL Unity IIe 855DI 蝕刻器/asher是一種功能強大、用途廣泛的工具,能夠處理各種基材和工藝。憑借其實時監控能力和先進的工藝參數，這一資產是任何薄膜工藝的絕佳選擇。
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