二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 855DP #293646577 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe 855DP是一個蝕刻器/asher。它是一種先進的濕蝕刻器/asher設備，專為需要高蝕刻和清潔能力的半導體工藝應用而設計。該系統用於制造微電子和光子器件，如顯示器和芯片，其中材料的精確蝕刻是必不可少的。該機組裝有集成的水力機械掃掠脈沖，利用沈澱力和阻力兩種方式移動板面上的晶片。這樣就可以在整個蝕刻周期中有效地去除材料並保持基板的平整度。此外，集成冷卻氣體分配機，CGD，保持所有的加工室組件達到不安全的溫度。這樣可以確保工具在任何時候都能以安全和受控的方式操作。TEL Unity IIe 855DP具有先進的蝕刻和清潔功能。它配備了脈沖蝕刻工藝，同時使用氙氣和氯氣在基板上蝕刻設計和圖樣，而內部視頻監視器確保這些圖樣的精確蝕刻。此外,該資產允許使用等離子體和RCA清潔劑等介質清除蝕刻過程中殘留在基板上的殘留物。該模型設計為高速運行，最大吞吐量可達16晶片同步/秒。它還配備了多種溫度控制、脈沖和循環時間，以及真空卡帶和卡帶交換功能。即使在最具挑戰性的蝕刻和清潔應用程序中,這也可以實現可靠和可重復的結果。此外，該設備還有一個基於網絡的控制和監測軟件，可用於遠程管理和數據收集。總體而言，TOKYO ELECTRON UNITY IIE 855 DP是一款用途廣泛、精密的蝕刻器/asher。它配備了一系列功能,使其能夠獲得較高的蝕刻和清潔能力,同時提供對整個過程的精確控制。這使得它成為微電子和光子器件制造中必不可少的工具。
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