二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 855DS #197628 待售
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單擊可縮放
ID: 197628
晶圓大小: 8"
優質的: 2000
Oxide etcher, 8"
(2) chambers
Mass flow controller
GAS #1 C4F8 50
GAS #2 CH2F2 50
GAS #3 O2 200
GAS #4 CO 300
GAS #5 AR 1SLM
GAS #6 CHF3 100
GAS #7 CF4 100
GAS #8 C4F8 50
Pressure controller
P/V (PC1) VAT 65048-JH52
P/V (PC2) VAT 65048-JH52
Robot
Robot Controller YASKAWA SRC-Ⅱ016
TMP (PC1) EDWARDS STP-A2203W1
TMP Controller (PC1) EDWARDS STP-A2203W1
TMP (PC2) EDWARDS STP-A2203W1
TMP Controller (PC2) EDWARDS STP-A2203W1
Generator (PC1) DAIHEN WAG-30C
Generator (PC2) DAIHEN WAG-30C
Matcher (PC1) DAIHEN CB-13A
Matcher Controller (PC1)
Matcher (PC2) DAIHEN CB-13A
Matcher Controller (PC2)
EPD (PC1)
EPD (PC2)
T/C TMP Controller
HDD DISK (DATA) HDS722580
HDD DISK (S/W) HDS722580
AC Rack (PCB Board)
SVA011: Not attached
TEB107: Not attached
SMM162: Not attached
GST-M-SET: Not attached
TVB0008
TVB0010-1: Not attached
TC(PCB BOARD)
COM
DIO1
DIO2
MAIO
ILK
PC1(PCB BOARD)
APC: not attached
DIO
MAIO
COM
TEMP
PC2(PCB BOARD)
APC: not attached
DIO
MAIO
COM
TEMP
Robot controller missing
2000 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe 855DS是一種用於半導體制造的高端蝕刻器/灰化器。它旨在為半導體元件的制造提供精密蝕刻和灰化工藝，如互連層、透矽通孔（TSV）和MEMS器件。TEL Unity IIe 855DS具有高度精確的兩軸卡帶到卡帶傳輸設備和先進的控制系統。這使蝕刻器/asher能夠提供精確、穩定的蝕刻和灰化過程,並提高均勻性和可控性。處理室在較高的溫度下比標準蝕刻器/灰燼增強，這使得它可以達到較高的蝕刻速率。TOKYO ELECTRON UNITY IIe 855DS還包含獨特的高級功能，如多功能氣流控制、高級工藝配方、閉環、自檢保護、自動流產以及先進的運行結束檢測。這確保了較高的工藝效率、改進的質量控制以及可靠的蝕刻和灰化經驗。UnityIIe 855DS設計用於處理各種晶圓尺寸,最大可達8英寸。它能夠每小時運行600個晶圓,並確保周期時間短。這使得蝕刻器/asher適合廣泛的半導體生產需求。它利用先進的工藝技術，如OPC-RI/RIE、帶狀灰泥、蝕刻-停止蝕刻和退火等。在安全性和環境特性方面，TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe 855DS采用認證的超低泄漏閥。這確保了極為緊密的密封，並有助於防止任何氣體泄漏到周圍環境中。此外，蝕刻器/粉碎機使用各種低毒性的加工氣體，並有一個綜合安全裝置，旨在監測危險氣體的水平。TEL Unity IIe 855DS總機高僅70厘米,體積小巧,適合廣泛的行業空間。它也是一種高效的工具，可確保降低運營成本。簡而言之，TOKYO ELECTRON UNITY IIe 855DS是一種精密高效的半導體制造蝕刻器/灰化器，提供工藝精密、質量控制和可靠性。它以高性能、環境安全和低運營成本著稱。
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