二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 855DS #293820513 待售
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ID: 293820513
晶圓大小: 8"
Oxide etcher, 8"
(26) Slots
SCCM DHhard Chambers
Process: C5F8, Ar, O2, CHF3, CF4
Voltage: 3φ200VAC 325A
Frequency: 50Hz
Load lock chamber
(2) Cassettes
SMIF
RF generator
(2) Chambers
(2) Turbo EDWARDS STP-A1303W1 pumps
ESC, 8"
KASHIYAMA RD300 Transport chamber pump
(3) KASHIYAMA SDE90 Pumps.
TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe 855DS是為高精度晶圓處理而設計的高級蝕刻器/asher。該設備將先進的TEL UV-6700動態均勻性控制（DUC）與最先進的光學封裝結合在一起，提供卓越的工藝效果。該系統是圍繞先進的矽絕緣體（SOI）基板支架構建的。基板支架既可容納標準矽片，也可容納大面積玻璃基板（LAGS）和替代SOI結構等新型基板。持有人配備了真空進料通路，使蝕刻過程中的蝕刻氣體能夠精確地送入晶圓表面。該單元還采用了TOKYO ELECTRON新的先進PC-TDC（基於PC的調諧和診斷控制）技術。這臺機器允許實時監測和調整諸如氣體輸送、壓力、蝕刻持續時間、溫度和真空等蝕刻參數。它提供了整個蝕刻過程及其參數的全面視圖，實現了精確的微調和快速優化。TEL Unity IIe 855DS利用高性能的光學封裝,可以準確分析晶圓的輪廓和地形。先進的光學封裝可以檢測晶圓上的微小特征，並提供進一步後處理的數據。此外，該工具還配備了先進的晶圓對準和跟蹤資產。該模型能夠精確對準和跟蹤非標準基板和抗蝕劑，並允許微調蝕刻參數以獲得所需的工藝結果。TOKYO ELECTRON UNITY IIe 855DS是一種全自動蝕刻/asher設備,具有高精度性能。它為用戶提供了一個先進的平臺，以有效和精確地處理各種晶圓基板。Unity IIe UV-6700結合了先進的855DS DUC技術、直觀的PC-TDC系統和寬廣的光學封裝,提供了最先進的蝕刻和灰化性能。
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