二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 855II #9071931 待售
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ID: 9071931
晶圓大小: 8"
優質的: 1999
Oxide etcher, 8"
(2) Chambers
Wafer type: flat-zone
Rack type: V1 rack
Processing type: vacuum
Wafer loading type: normal
MFC:
GAS #1 C4F8 50
GAS #2 Ar 1000
GAS #3 SF6 100
GAS #4 CHF3 100
GAS #5 O2 20
GAS #6 CF4 200
GAS #7 PN2 100
GAS #8 CO 200
APC: VAT 61146-PH02-ABM1
Gauges:
Baratron CELERITY CDLD0112E 0~1TORR
Baratron TYRAN GENERAL CDL0112E 0~1TORR
Baratron MKS 622A01TDE 1PA
Convectron G/PHILLIPS 275203
TMP MITSUBISHI E-0776
TMP Controller MITSUBISHI FT-1200W
Robot YASKAWA VS2E
Robot Controller YASKAWA SRC-Ⅱ013
Generator PERAL LT-2000-800K; PERAL RP-3000-27M
6.Matcher PERAL M-30AW2VD-27M; PERAL M-20A2LS-V2
1999 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe 855II是一種用於多種行業的蝕刻/灰化機。它是一種功能強大、節能的工具，旨在快速、精確地蝕刻/清除各種基材。它具有強大的設計和先進的工藝技術,用於蝕刻/灰化工藝。TEL UNITYIIE-855 II能夠處理矽（Si）、磷化銨（InP）、砷化的的二維（2D）和三維（3D）結構（GaAs）、電基板和其他珍貴材料。它旨在創建統一的表面紋理,並提供高蝕刻/灰化率,同時保持最終產品的最高質量。TOKYO ELECTRON UNITY IIE 855 II擁有廣泛的工藝參數，包括壓力、時間、溫度和基板厚度。它具有四區等離子體源、靈活的軟件控制以及快速的啟動時間。機器提供的易於使用和精確的控制，使得基板的可靠和可重復蝕刻/灰化。TEL UNITY IIE 855 II專為最高效率而設計,並與各種工具和系統集成。該機能夠處理多個晶圓，並且可以與多種特殊工具配合使用，以支援各種蝕刻/ashing工藝要求。它還與其他TEL/TOKYO設備兼容，如晶圓處理器、頂置爐和FOUP裝載機，以創建一個完整而高效的系統。TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIE 855 II是一款業界領先的蝕刻/灰化機,旨在提供高質量的結果以及廣泛的參數和設備。它具有強大而多樣的功能,是加工各種高精度、高精度和可重復性材料的理想選擇。
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