二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 855II #9142648 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe 855II是一款高度先進的等離子體蝕刻器/asher，專為滿足半導體行業的高端需求而設計。它提供了卓越的過程穩定性、低維護、快速準確的處理以及總體提高的產量。它配備了高分辨率12英寸彩色觸摸屏、自動化作業調度和文件管理功能,以及用於實時過程監控的Advanced Diagnostics管理設備。TEL UNITYIIE-855 II配有四個相互連接的等離子體腔室，允許最多四種不同類型的基材（如矽片）同時蝕刻或灰化，以提高效率。它可以容納直徑不超過300毫米、厚度不超過25毫米的基板。還包括一個自動化的基板傳輸系統，以簡化作業設置和更快的基板裝卸。等離子體室配有高頻RF（射頻）電源，以及內部磁鐵，用於最佳等離子體控制和均勻性。該腔室還由雙頻發電機供電，可根據蝕刻/灰化要求同時應用直流和射頻。一個額外的雙頻發電機可以安裝在室外，以進一步定制。包括TOKYO ELECTRON UNITY IIE 855 II增強單元（ES）作為增強蝕刻/灰化性能的標準。ES允許直接氣體註入，這顯著提高了工藝的蝕刻/灰化速度，以及優越的清潔和拍打能力。還可以將多個輔助自定義工具連接到ES,以進一步進行自定義。TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIE 855I I還配備了多項安全和環境特性，包括氣體監測以防止氣體超載，以及二級制冷機以確保過程溫度穩定一致。此外，該儀器具有低噪聲排放，非常適合實驗室和制造環境。總體而言，TOKYO ELECTRON UNITY IIE-855II是一款高度先進和可靠的蝕刻器/asher，旨在滿足現代半導體產業的要求。它提供了卓越的過程穩定性、自動化的作業調度和文件管理、雙頻發電機、氣體註入功能以及眾多安全功能,可提高效率和產量。