二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 855II #9236727 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe 855II是一種為半導體應用而設計的蝕刻/asher設備。它在小型占地計算機中提供各種高級蝕刻/灰燼功能。TEL UNITYIIE-855 II的腔室尺寸為676 x 762 x 457 mm （W x D x H），可以在給定批次中處理大量工件。它支持多種晶圓尺寸,從4「到12」, NAD容量最多為62個晶圓。它采用了平行快門蝕刻/灰分方法，使其能夠處理具有精確方面比率的均勻薄層。該系統還具有正面三重陣列功能,與傳統的蝕刻/灰燼相比,可實現更快的流程。Unity IIe結合了一個多室順序過程架構，因此過程在重組成一個單室之前分別發生在不同的室中。在一次運行中,最多可以在一個基板上組合九種不同的工藝,並且相應地定制總周期時間。憑借它的模塊化設計，諸如螺距轉子之類的模具配件也可以快速集成到單元中。Unity IIe有一個原位氣體凈化機，以減少氣體聚變和維護周期。該設備與TEL數字控制器完全兼容，用於自動參數執行和工具監控。Unity IIe采用智能機器人技術進行設計,以確保整個資產操作的精確度,其五軸機器人光束能夠進行多頻操作,從而實現快速晶圓跨腔室傳輸。它還具有視覺對齊模型（VAS）,以確保關鍵的對齊精度,並創建自動OCR和OMS標記。設備的底壓水平為令人印象深刻的5 x 10-5 torr，使用基板夾具真空技術可提升至10 X。它還配備了高容量I/O接口，提供了進出主機計算機系統的高效數據流。TOKYO ELECTRON UNITY IIE 855 II是一個高度先進的蝕刻/asher單元,在很小的空間內提供了廣泛的功能。它非常適合在蝕刻/灰分過程中需要高精度的半導體應用,一次運行最多可容納62個晶圓。它具有先進的機器人技術和確保關鍵的對準精度以及原位氣體凈化機，以減少氣體聚變和維護周期。該工具與TOKYO ELECTRON Digital Controller高度兼容，是一系列應用的理想選擇，如薄膜塗層、介電蝕刻和基板圖案。