二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 855SP #197627 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe 855SP是為精密處理而設計的最先進的蝕刻器/asher設備。它是一個高度可靠和適應性強的系統，能夠精確地在各種基板上創建開口、通道和孔。該過程本身以綜合軟件為指導，該軟件優化了蝕刻和灰化參數，以提高吞吐量和提高質量。TEL Unity IIe 855SP利用強大的電子束平臺,具有高導電層的快速、精確圖樣、晶圓曲率/錐度校正以及在不規則或不均勻基板上蝕刻的能力。其直徑為2.3nm的光束尺寸，縫合分辨率為0.48µm，均勻度為± 2%，適用於結構精細的高分辨率光致抗蝕劑和基板。電子束陣列速度高達375mm2/hr（取決於工藝參數）。為了確保準確性和統一性，TOKYO ELECTRON UNITY IIe 855SP包括一個專用的掃描光學包和一個功能強大的計算機單元以及一個數據采集/處理套件，用於自動工藝優化。掃描光學器件提供精確的模式控制，並通過使用多達四個電子植入器來確保可重復的層輪廓。機器還有一個先進的控制軟件包，可以精確控制從原材料到最終設備的每個過程步驟。它還允許用戶控制每個步驟的離子種類、電壓、電流和能量。Unity IIe 855 SP的流程配方管理使存儲、召回和修改模式更容易實現快速流程自動化。它能夠支持光刻、等離子體蝕刻、電子束蒸發等混合和整體過程。它簡單明了的配方設置和監控界面允許結構化的過程開發輕松。總體而言，TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe 855SP是一種為精確處理而設計的可靠高效的蝕刻器/asher工具。它在廣泛的基板上創建開口、通道和孔非常高效,並支持靈活的過程自動化以提高準確性和吞吐量。