二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 855SS #9033646 待售
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單擊可縮放
ID: 9033646
晶圓大小: 8"
優質的: 2004
Oxide etcher, 8"
Flat-zone wafer type
(2) Chambers
Mass flow controller
GAS #1 C5F8 20
GAS #2 C4F8 20
GAS #3 CF4 100
GAS #4 CHF3 50
GAS #5 CH2F2 50
GAS #6 AR 1,000
GAS #7 O2 50
GAS #8 P-N2 500
Pressure controller
ISO V/V (PC1) VAT 65048-JH52
ISO V/V (PC2) VAT 65048-JH52
Gauge
Baratron MKS 627B-15405
Baratron MKS 627B-15405
Robot YASKAWA VS2C
Robot controller YASKAWA SRC-Ⅱ016
TMP (PC1) EDWARDS STP-A2203W1
TMP Controller (PC1) EDWARDS STP-A2203W1
TMP (PC2) EDWARDS STP-A2203W1
TMP Controller (PC2) EDWARDS STP-A2203W1
Generator (PC1) DAIHEN WGA-30C
Generator (PC2) DAIHEN WGA-30C
Matcher (PC1) DAIHEN AMN-30C11
Matcher Controller (PC1)
Matcher (PC2) DAIHEN AMN-30C11
Matcher Controller (PC2)
EPD (PC1)
EPD (PC2)
T/C TMP Controller
AC RACK (PCB BOARD):
SVA031
Not included:
TEB107
TEB162
GST-M-SET
TVB0008
TC(PCB BOARD)
COM
DIO1
DIO2
DIO3: Not included
MAIO
ILK
PC1 (PCB BOARD):
APC
DIO
MAIO
EPD
COM
TEMP
PC2 (PCB BOARD):
APC: Not included
DIO
MAIO
EPD
COM
TEMP
2004 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe 855SS是下一代單晶圓等離子體蝕刻工具，提供卓越的性能和改進的工藝能力。它具有先進的等離子體源，可以優化過程均勻性，並提供精確的氣體控制，不會腐蝕部件。TEL UNITYIIE-855 SS擁有一個獲得專利的低溫擴散等離子體源,它具有卓越的性能和最大的吞吐量,以及對反應性物質的精確控制。TOKYO ELECTRON UNITY IIE-855SS具有高精度晶片級,能夠達到-60°C以下的溫度。此階段提供增強的沈積過程,非常適合創建具有所需屬性的曲面。晶片級由最先進的電動機和步進線圈設備驅動，確保準確和均勻的能量分配。PC控制的生產系統還包括一個復雜的診斷單元,它提供對蝕刻過程的實時監控,並可以在出現問題時向用戶發出警報。TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIE-855SS還配備了完全集成的機器，消除晶圓和真空室之間的粒子和汙染物的機械傳輸。此綜合工具可確保最高級別的清潔和過程可重復性。此外，TEL/TOKYO ELECTRON UNITY II E 855SS支持使用各種腔室構型，包括化學氣相沈積（CVD）和反應性離子蝕刻（RIE）腔室進行蝕刻。TEL UNITY IIE 855 SS還具有節能設計,能夠以更快的速度運行,同時比其他蝕刻工具消耗更少的功率。它的高級控制軟件允許無人值守操作和自動化配方,方便加載和卸載晶片,以及提供有關生產數據、校準歷史和性能信息的集成在線跟蹤資產。總體而言,TEL UNITY IIE-855SS是一種高性能蝕刻工具,可提供卓越的工藝能力和更好的成本節約。其先進的技術、節能的設計和全面的控制模型使其成為蝕刻應用的可靠和高效的選擇。
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