二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 855SS #9042813 待售

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ID: 9042813
晶圓大小: 8"
優質的: 2001
Oxide etcher, 8" (2) Process chambers Wafer type: flat Signal tower: (3) lamps, (2) sides (front and back) chamber type: Unity SCCM 2 Wafer handling type: vacuum load / unload station Robot arm type: anodized aluminum Wafer clamp type: ESC ESC type: ceramic EPD: both chambers EPD type: EPD 30X Transfer chamber configuration: C/C1 Pressure switch: Leybold PS 113 16014 C/C2 Pressure switch: Leybold PS 113 16014 T/C Convactron: Phillips 275203 T/C CM: MKS 6220 A01 TDE, 1 Pa capacity PCV Unit: STEC SV-P1000 DC power supply: SANKEN MLT-DCBOX5 Transfer robot: YASKAWA VS2C RC/ELC1: YASKAWA SRC-II 015 RPA/ELC2: YAWKAWA SRC-II 016 Wafer alignment: YASKAWA VOSJ 2001 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe 855SS是一種蝕刻器/asher,設計用於光刻工藝。它是半自動化的,在易於使用的設計中提供高級功能。TEL UNITYIIE-855 SS采用內置矽酸鹽浴的不銹鋼罐體和低除塵器構成,提供清潔的工作環境。它還有額外的安全措施,如緊急關閉機制。該裝置的化學電阻率高達500歐姆,有助於在整個蝕刻過程中保持埃級工藝的穩定。TOKYO ELECTRON UNITY IIE-855SS集成了診斷功能,使故障排除更加容易。該系統配有直觀的圖形用戶界面(GUI),便於使用。控制系統自動監控過程參數,可以輕松調整以優化配方。控制系統可確保每個過程都能獲得可重復、可靠的結果。為確保準確性,TEL/TOKYO ELECTRON UNITYIIE-855 SS提供了全面的工藝監控。蝕刻器/asher在每個過程中不斷監視並向用戶提供反饋。它還可以提供每個過程的數據,例如過程的溫度、壓力和頻率。該單元還提供高級功能,例如保存已完成配方的能力,以及對設備操作進行編程的能力。TEL UNITY IIE-855SS的占地面積很小,最多可處理9個工作站。蝕刻器/asher設計用於批處理操作和單個晶圓操作。它具有廣泛的流體,可以在一系列的過程中使用。它具有很高的可編程性,可與各種蝕刻和灰化設備一起使用。UNITY IIE-855SS是一個可靠的,強大的蝕刻和灰燼單元.它提供了高級功能,可幫助確保在執行各種過程時的準確性和可重復性。蝕刻器/asher的設計易於使用,並為客戶提供清潔的工作環境。它具有全面的流程監測能力,可以提供有關其每個流程的詳細數據。該產品具有廣泛的工藝能力,非常適合那些需要快速高效的光刻工藝的人。
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