二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 855SS #9177764 待售
看起來這件物品已經賣了。檢查下面的類似產品或與我們聯系,我們經驗豐富的團隊將為您找到它。
單擊可縮放
已售出
ID: 9177764
Oxide etcher
SCCM
RF generator (power supply):
Top: Daihen AGA27AIA
Low pass filter: Daihen HFA-27B
Bottom: Daihen WGA-30A
Matcher:
Top matching box: DAIHEN AMN-30C9
2MHz cut filter: DAIHEN WFL-01A
BTM Matching box: DAIHEN WMN-30E
Matcher controller: DAIHEN CB-13A
Capacitance manometer:
Process monitor: MKS 627B-15405
Process monitor: MKS 33.3 Pa
Pressure control valve:
VAT 65046-PH52-AEP1
P/C Unit box:
Multi DC Power supply: SANKEN MLT-DCBOX5 HV-DC Supply: KYOSAN DC HV-PS AC Servo driver: YASKAWA SED-01 AP
Gas box MFC:
Gas1: C5F8/50 sccm AERA FC-795CT-BF-TC
Gas2: C4F6/50 sccm AERA FC-795CT-BF-TC
Gas3: CH2F2/50 sccm AERA FC-795CT-BF-TC
Gas4: O2/2020 sccm AERA FC-795CT-BF-TC
Gas5: O2/500 sccm AERA FC-795CT-BF-TC
Gas6: Ar/1000 sccm AERA FC-795CT-BF-TC
Gas7: CHF3/100 sccm AERA FC-795CT-BF-TC
Gas8: CF4/100 sccm AERA FC-795CT-BF-TC
Gas9: N2/500 sccm AERA FC-795CT-BF-TC
Gas10: CO/1000 Sccm AERA FC-795CT-BF-TC
Back pressure MFC:
Edge: He/50 sccm AERA FC-780XC
Center: He/50 sccm AERA FC-780XC
Edge back pressure:
Capacitance manometer: MKS 622A12TBE
Capacitance manometer: MKS 13333.3 Pa
Pressure control valve: STEC SV-P003
Center back pressure:
Capacitance manometer: MKS 622A12TBE
Capacitance manometer: MKS 13333.3 Pa
Pressure control valve: STEC SY-P1203
BA Gauge ANELVA M430HG.
TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe 855SS是一種蝕刻器/asher,其設計目的是在各種材料上創建高精度的圖樣。具有多晶片加工的高真空蝕刻/剝離能力。此蝕刻器/asher具有控制軟件套件,該套件可自動執行整個蝕刻/蝕刻過程,並具有優化的精度。腔室的設計還確保晶圓表面對操作員的高能見度，同時防止任何顆粒汙染。TEL UNITYIIE-855 SS最多可處理8英寸晶圓，加工室容積400升。它采用雙頻射頻發電機，參數自動調整。該腔室還利用低能等離子體源來實現最高的圖樣精度。對於多種材料，包括矽和有機基板，真空室的溫度可以從5攝氏度調節到250攝氏度。它還支持包括Ar、O2,CF4和CHF3在內的多種工藝氣體。TOKYO ELECTRON UNITY IIE-855SS的設計實現了極高的通量速度，將蝕刻/ashing循環時間縮短了一半。它有一個用於過程監測的CCD攝像機，以及一個用於精確測量顆粒去除效率的伽馬射線傳感器。它還具有端點檢測系統和自動晶圓傳輸功能，便於自動化操作。用戶可以通過以太網連接遠程監視蝕刻器/asher的狀況。該裝置還有一個內置的清潔驗證系統，用於監測工藝環境，以確保沒有顆粒汙染。它還具有在線和離線配方系統,可隨時保存和回憶蝕刻/灰度設置。UNITY IIE-855SS是一個強大的蝕刻器/asher設計用於各種材料的精密圖案。它以極快的處理速度提供了非常精確的結果,使其成為工業和研究應用的理想設備。
還沒有評論