二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 855SS #9236831 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe 855SS是一款精密的蝕刻器/asher，旨在簡化和提高基板清洗工藝的精度和精確度。該設備的設計目的是通過在高溫環境中使用高壓揮發性化學物質，有效和迅速地清除基板上的汙染物。該系統包括一個用戶友好的觸摸屏界面和一個靈活的運動單元，以允許精確蝕刻或灰燼所需。TEL UNITYIIE-855 SS設計為使用高達1000 °C的溫度和高達300瓦的功率。該單元有一個506 x 506毫米的加工室，周圍有一個16面的閘門和一個專利反射襯裏。這有助於保持整個基板上工藝環境的均勻性,並將影響蝕刻過程的熱點或不均勻加熱風險降至最低。冷卻介質輸送管用於在過程中在基板上提供精確一致的介質流。該機還包含多種安全功能，如互鎖的檢修面板、自動安全關機、緊急停止按鈕等。該工具還包括一個電源監視器,用於測量電源抽取以確保設備不會過載。此外,TOKYO ELECTRON UNITY IIE-855SS包含一個內置的自動診斷功能,允許用戶在此過程中隨時檢查資產性能。這有助於確保模型以最高性能運行。TOKYO ELECTRON UNITY II E 855SS通過使用輪廓調整、基板跟蹤、壓力和溫度調節以及活室成像實現了高級工藝控制。此外，該設備可與其他工具結合使用，以支持更復雜的基材加工。這包括能夠以更高的精度和復雜性運行多階段蝕刻或灰分過程。總體而言，TOKYO ELECTRON UNITY IIe 855SS提供了一個準確、可靠、高效的底物處理系統，可以量身定制以滿足每一個應用的需求。該裝置設計易於使用和維護，具有先進的安全特性和監控能力，所有這些都確保蝕刻或灰化過程以安全和精確控制的方式進行。UNITY IIE-855SS是各種蝕刻和灰化應用的理想選擇，從小批量到大批量的基材。