二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 855SS #9292571 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe 855SS Etcher/Asher是一種通用的硬件解決方案,用於蝕刻和灰化光掩模、標線和其他圖案化表面。該系統使用多階段流程來精確控制各種流程的溫度、氣流和功率水平。TEL UNITYIIE-855 SS具有水解蝕刻室、真空級、過氧化氫浴室和鼓風室，均用於實現更清潔、更均勻的蝕刻或灰化所需的目標材料。TOKYO ELECTRON UNITY IIE-855SS的設計允許在單個單元內快速而精確地蝕刻和粉刷光掩模和標線。通過智能過程控制，能夠限制晶圓熱預算和溫度漂移。此外,系統還配備了高靈敏度溫度傳感器,確保在圖樣化表面的所有點上保持均勻的蝕刻和灰化條件。這導致更高的準確性和更高的收益率。UNITY IIE 855 SS的水解蝕刻室配備了先進的VCA（電壓控制激活）工藝，在廣泛的蝕刻和灰化應用中提供一致和可重復的結果。這包括蝕刻、塗層和去除薄層，例如用於處理光掩模和標線的薄層。該腔室還包括一個堅固的負載鎖定系統，可有效地裝載和卸載基板，提高直通和可靠性。TOKYO ELECTRON UNITY IIe 855SS配備了過氧化氫浴池，用於放大、增強和擴展蝕刻和灰化工藝。這種過氧化物浴池還能夠去除汙染物，為工藝提供更高的精確度。浴室采用溫度控制，在被蝕刻或粉刷表面的所有部分保持均勻的蝕刻和粉刷條件。最後，TEL/TOKYO ELECTRON UNITY II E 855SS包括一個排空和幹燥蝕刻或灰化材料的鼓風室，從而產生更清潔和更均勻的蝕刻或灰化結果。鼓風室配有變速風扇，提高了幹燥效率和精度。這種高效的幹燥過程最大限度地降低了潛在的成本錯誤風險,並最大限度地提高了產品產量。TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIE-855SS是光掩模、標線和其他圖案化表面的理想蝕刻器和灰化器。它的多功能性、可靠性和精確度使其成為電子制造設施的重要解決方案,提高了生產效率和產品質量。