二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 85DD #293760242 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe 85DD是一種蝕刻器/asher，利用等離子體和化學過程產生小規模的器件，如芯片和電路。這種裝置由一個寬370mm、深50mm、高500mm的主腔室和幾個容納待蝕刻材料的內容器組成，如矽片、砷化​​氙和藍寶石。該設備通過RS-232通信與計算機連接，並以幾種工作模式進行結構化，使蝕刻過程完全自動化。TEL Unity IIe 85DD采用先進的蝕刻頭設計，噴嘴有四個角度噴嘴和四個同心圓柱形噴嘴。噴射器能夠將等離子體或化學物質均勻地輸送到工件，從而實現平滑的蝕刻輸出。蝕刻過程始於室內氣體的組合和60MHz微波發生器產生的能量的供應。這種能量造成等離子體在整個工件上的均勻分布，導致傳導電流，導致工料分解。此外，各種化學物質可以與等離子體蝕刻工藝結合使用，以提高其準確性。TOKYO ELECTRON UNITY IIE 85 DD最獨特的特點是全自動過程控制能力。它使用閉環控制設備來精確調整工作參數，如溫度、壓力、暴露時間和等離子體輸送速率等。這樣可以確保精確的蝕刻結果,並將由於蝕刻條件不正確而造成材料損壞的可能性降至最低。此外，由於系統中存在氧氣和濕氣傳感器，因此能夠自動調整蝕刻條件，使所用材料發生變化。最後,UNITY IIE 85 DD提供了廣泛的安全功能。腔室內部建有不銹鋼真空外殼，以防止熱損壞，並防止因機組內突然壓力變化而發生事故。該裝置還配備了機器視覺機和多個基於傳感器的系統，以持續監控過程並確保穩定性。此外,緊急關閉工具允許用戶在發生意外事件時快速中止蝕刻過程。