二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 85DD #9219713 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe 85DD是一種多室蝕刻器，設計用於處理多種半導體晶片。該裝置采用專有的85DD室工藝，可提供快速、準確的蝕刻結果。設備由兩個加工室組成，它們共同完成蝕刻過程。第一室能夠執行標準蝕刻工藝，如幹濕蝕刻，而第二室則專用於預清洗和後蝕刻工藝。這種雙室系統可以對不同材料進行高效和準確的蝕刻，而無需手動更改設置。TEL Unity IIe 85DD配備了多氣體輸送單元和獲得專利的電氣動氣體切換機。該工具允許用戶通過精確控制反應性氣體和惰性氣體的流動來控制蝕刻過程。該單元還配備了PEPE，或稱聚合物和能量的等離子體蝕刻，專門設計用於加工聚合物和其他敏感材料。PEPE資產是一種雙頭激光裝置，利用激光能量的超短脈沖在敏感材料中創造小特征。TOKYO ELECTRON UNITY IIE 85 DD是為維護安全環保的最高行業標準而建造的。該單元的密閉穹頂防止在加工過程中產生的空氣傳播粒子逃逸到室外；此外，該室還配備了氧氣監測模型，可自動調節氣體的壓力和流量，以確保安全運行。其他安全功能包括自動快門操作、集成滅火設備、地面故障中斷開關。TOKYO ELECTRON UNITY IIe 85DD直觀的界面為用戶提供了方便快捷的訪問系統設置。除了設備的集成處理軟件外，用戶還可以通過智能手機或其他無線設備遠程控制設備。UNITY IIE 85 DD是一款適合半導體制造商先進蝕刻需求的優化多功能蝕刻器。其先進的功能、集成的安全系統和直觀的用戶界面使該單元成為任何半導體蝕刻應用的理想選擇。