二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe 85I EM #9091879 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe 85I EM 蝕刻器/asher機是半導體制造工藝中為等離子體蝕刻和幹灰化而設計的幹蝕刻和灰化設備。該系統設計具有多工作站、多流程功能,允許將多個流程集成到一個系統中。其特點是具有自動清洗和幹燥能力的密封室單元，通過控制和可重復的工藝結果減少了材料的破損。TEL UNITY IIE 85IEM的特點是具有低頻射頻截面的高科技雙頻發生器，以及在等離子體蝕刻和灰化過程中維持均勻腔室壓力的高頻源。該機器設計有一個主動感應元件，用於定位和促進選定區域中的蝕刻。活性感受器元素還有助於減少化學侵蝕或蝕刻後的抗蝕劑面膜。TOKYO ELECTRON UNITY II E 85IEM 蝕刻器/asher配備了內部氣體成分監測工具，提供精確的等離子體氣體成分控制，能夠持續分析和監測氣體濃度。它還帶有堅固的翻蓋式門，用於機械化裝卸。蝕刻器/asher允許靈活的模式在蝕刻和ashing之間切換,並具有快速且易於編程的配方編程。所有的目標材料參數都可以通過氣體流量控制和均勻的基材溫度來精確調整。資產還為每個配方加載提供準確的可重復溫度配置文件,從而實現簡單的設置和快速的作業校正。一個綜合的，先進的等離子體蝕刻監測模型與全面的數據記錄提供實時配方執行跟蹤。TEL UNITY II E 85IEM采用全自動安全設備設計,提供高安全標準以保護操作員、材料和環境。它還附帶了一個直觀的HMIS軟件，帶有配方日誌記錄和多語言支持選項，允許具有不同能力和語言背景的用戶輕松操作。TEL Unity IIe 85I EM 蝕刻器/asher是一種有效的半導體制造工藝系統，為最大產量和可重復結果提供可靠的工藝控制。