二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe SCCM #293627313 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe SCCM（底物密閉化學機械拋光系統）是一種最先進的蝕刻器/asher，用於各種半導體應用。顧名思義，TEL Unity IIe SCCM在其蝕刻和拋光操作中結合了化學和機械工藝。它旨在提供業界領先的拋光效果均勻性,同時支持最先進的基板配置。TOKYO ELECTRON UNITY IIe SCCM能夠使用HF： H2O2溶液（氫氟酸：過氧化氫）去除底物材料的蝕刻工藝。該過程從放置在蝕刻室中的基板開始，然後一個特殊的噴嘴在低壓下將高度受控的蝕刻溶液噴灑到基板上。然後改變HF： H2O2溶液的相對強度,以調整蝕刻發生的速度,從而對蝕刻過程進行極其精確的控制。此外，Unity IIe SCCM還提供機械拋光。作為其集成的CMP（化學機械拋光）平臺的一部分，TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe SCCM機械拋光基板的不均勻表面。這可以通過使用快速磨料拋光墊或使用低磨料金剛石工具來實現。該過程有助於產生更精細的曲面形態和更平滑的曲面,從而在制造過程中實現無與倫比的精度。此外，TEL Unity IIe SCCM設計具有各種安全功能，包括溫度監測和自動氣體排放系統。它還配備了一個加壓系統，保持內部環境無汙染物。此外，它還支持多種基板類型，如矽、鋁和其他金屬，以及廣泛的基板尺寸。總體而言，TOKYO ELECTRON UNITY IIe SCCM是一款高級蝕刻器/asher，能夠進行高度精確的蝕刻和機械拋光工藝。它在基板加工方面具有優異的效果，設計具有多種安全特性和廣泛的適應性基板類型。由於這些原因，Unity IIe SCCM是任何類型的蝕刻或拋光應用的理想選擇。