二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity IIe #293642910 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe是為最嚴格的應用而設計的精密蝕刻器和asher。這臺工業級機器采用直徑12英寸的FOUP基板支架，具有6英寸的基板尺寸能力，集成電子束裝置，18英寸X射線探測器和可選的激光劃刀。它還具有可調節速度的集成轉盤和計算機控制的過程。TEL Unity IIe是當今市場上最先進的蝕刻器和分類器之一。它具有處理各種基材的能力，從用於復合半導體生產的石英、砷化氙和​​氙晶片，到用於先進包裝的低k電介質，從薄膜光掩模到用於微電子工作的薄膜。TOKYO ELECTRON UNITY IIe的指令集令人印象深刻，可以極精確的控制蝕刻和灰化過程。專用的蝕刻和灰化功能允許對各自的工藝進行獨立控制,並實現復雜和復雜的處理。此外,Unity IIe還配備了用於設備操作和參數設置的集中控制面板。TEL/TOKYO ELECTRON UNITY IIe在底物供應和加工方面也提供了靈活性。它具有Front Open Un-load/Load （FOUP）和手動加載系統的組合,允許用戶在手動加載的基板和自動基板之間進行切換。此外,還有一個完整的處理配方庫,可存儲在系統內存中,並用於自動基板交換過程。作為TEL Unity IIe的另一個功能,有一個集成了18英寸傳感器陣列的X射線探測器,用戶可以監視蝕刻和灰化過程中的進度。此外，該裝置還配備了溫度傳感器，以確保樣品溫度在加工周期內保持恒定，從而最大限度地減少缺陷或損壞基板的可能性。TOKYO ELECTRON UNITY IIe是一款高度先進的過程控制機器，為用戶提供了一種可以滿足他們最苛刻需求的蝕刻和灰化工具。它結合了復雜的組件和直觀的操作員界面，使其成為各種研究和生產操作的理想工具。