二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity M 85 TD #9254149 待售
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ID: 9254149
晶圓大小: 8"
Oxide etcher, 8"
Components:
Load Lock Module (LLM)
Transfer chamber
Pre aligner
(2) Process chambers
(3) Gate valves
(2) Bottom RF matchers
(2) Upper electrode cooling fans
(2) ESCs
(2) Baffle plates
(2) Shield rings
(2) Upper electrodes
(2) Pedestals
(2) Quartz insulators
Turbo molecular pump
Focus ring
Ceramic insulator
Quartz pipe
Display
Light tower
Pumps:
(2) Process chamber dry pumps
(2) Dry pumps racks
EBARA Load lock dry pump
EBARA Transfer chamber dry pump
(2) PC TMP Pumps missing
Main controllers:
(4) Hard Drive Disks (HDD)
(2) Control boards, AI/AO boards set
Big system control box
TC Controller box
Chillers:
SMC Dual chiller
SMC Single chiller
(4) Chiller hoses
Cables:
(5) Pump power cables
(4) Pump control cables
(6) Power cables
(3) Chiller control cables
(5) Remote pump cables
Interface cable
Gas box cable
AC Cable
(2) Gas boxes
(2) V-37 Valves
AC Power box: AC Distribution box
Foreline connecting pips.
TEL/TOKYO ELECTRON UNITY M 85 TD是一款蝕刻器/asher，設計用於提供可靠、經濟的微電子元件生產。此工具是一種多室工藝設備,能夠在一次運行中處理多個組件。它設計用於執行濕法或幹法，包括應用高溫和/或選擇性蝕刻的能力。該系統使用控制面板或前面板接口進行編程，並具有幾個安全功能，可用於自動操作。TEL Unity M 85 TD具有多室設計，主室和兩個子室。它配備了一個獨特的氣體布置單元，使操作員能夠準確地輸送正確數量的氣體和每個加工過程的適當類型。機器還配備了高級診斷工具,使操作員能夠快速診斷任何故障設備。它還標配了自動過程控制工具（APCS）,該工具可連續監控過程參數讀數,以確保保持準確的規範。此蝕刻器/asher具有高達25 W的多範圍功率級別,允許進行多種精密操作。它具有快速加熱能力，能夠縮短處理時間，集成的熱控制資產有助於確保一致的操作和可重復的結果。TOKYO ELECTRON UNITY M 85 TD被設計成能配合各種特殊氣體，以確保廣泛的應用。Unity M 85 TD具有多項保護操作員、型號和工藝的標準安全功能。所有空氣中的顆粒都被內置的排氣設備清除，並使用抗ESD（靜電放電）材料來防止潛在的傷害或損壞。該系統還設有一個集成的空氣過濾器，可連續監測空氣質量並相應調整過程。TEL/TOKYO ELECTRON UNITY M 85 TD是任何生產線的可靠高效的加成物。它旨在最大限度地提高吞吐量和降低成本,同時確保最優質的成品。其先進的安全特性保證了事故預防和連續生產過程。此蝕刻器/asher非常適合精密應用,例如半導體器件、顯示器和薄膜技術。
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