二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity M #293654956 待售
網址複製成功！
單擊可縮放
ID: 293654956
Etcher, 8"
(3) DRM Chambers
V2 Rack
Transfer system:
Transfer chamber
Cassette chamber
Pre-alignment unit
Transfer robot
Chamber accessories:
Dipole ring magnet
Rotation speed
Pressure control system
He cooling system
Fixed gap cylinder
RF System:
ENI GHW25A RF Generator
Oscillating frequency: 13.56 MHz
Maximum output: 2500 W
ENI MWD-25LD-06 RF Match
Oscillating frequency: 13.56 MHz
Maximum output: 2500 W
Gas delivery option:
SUS316L Piping
SUS Gasket
IGS Fitting
MEGA-MINI Valve
HORIBA SEC-Z512MGXC (IGS) Mass flow controller
End point system (302x):
Controller: 1x
Fibre: 1D80-005308-11
Lens: 1D80-004290-11
Remote:
10" Colour LCD display
Buzzer alarm
Lot end melody
AC Rack:
Machine on/off circuit
Interlock on/off circuit
EMG Off circuit
Hard disk: System HD, data HD
EDWARDS STP-A1303C Turbo pump for process chamber
EDWARDS STP-A1303C Turbo pump controller for process chamber
Power supply: 208 V ± 10%, 60 Hz.
TEL/TOKYO ELECTRON Unity M是一款高性能蝕刻設備，非常適合廣泛的行業使用。該系統采用微波基等離子體蝕刻技術，以精確度和速度蝕刻矽片等基材。它能夠一次處理多層，可以蝕刻最大直徑200毫米的碎片。該單元可用於批量加工，允許高批量產品快速生產。這種蝕刻器利用在工藝室內部產生的高頻無線電信號來產生具有廣泛特性的等離子體。這使得在高溫和高通量下進行蝕刻成為可能。結果是一個幹凈、精密的蝕刻。此外，蝕刻器還包括較大體積項目的大底物容量。TEL Unity M具有多室架構，允許多層蝕刻並行完成。這提供了高速、高品質的蝕刻工藝。此外，機器可以處理厚度在4到200微米之間的材料，並且可以在高達1000 °C的溫度下蝕刻。該過程還設計為在多個刀具組件之間動態一致。這樣即使使用不同材料和厚度的晶片也能確保均勻蝕刻結果。TOKYO ELECTRON UNITY-M的其他功能包括一個易於使用的觸摸屏界面和一個專用的邊緣排除室。這允許用戶在不排除邊緣和其他工件的情況下創建蝕刻。此外，資產可以配備自動質量監視器，允許用戶實時監控蝕刻質量。這提供了額外的控制和質量保證。此外，TOKYO ELECTRON UNITY M與各種底物和材料以及各種沈積過程兼容。總體而言,TEL UNITY-M是一種功能強大的蝕刻模型,非常適合任何行業。該設備的多室結構允許多層並行蝕刻，而基於微波的等離子體蝕刻和動態一致性確保了最高精度的蝕刻結果。此外,該系統設計易於使用,包括直觀的觸摸屏界面和自動質量監視器等功能。因此，UNITY-M能夠快速和精確的蝕刻和沈積過程。
還沒有評論