二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity M #293820990 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY M系列蝕刻器/灰燼是從晶片蝕刻和剝離光刻膠圖樣的高性能系統。TEL Unity M具有廣泛的流程,可滿足各種需求,並具有出色的流程重復性和統一性。此外，TOKYO ELECTRON UNITY-M比其他系統消耗更少的功率，使用更少的材料。TEL/TOKYO ELECTRON UNITY-M是一種綜合性的蝕刻器/asher設備，設計用於支持銅蝕刻和介電剝離等多種工藝。它配備了高精度聯鎖系統和精密的功能控制單元，記錄和管理所有與流程相關的數據。該機可以蝕刻和剝離光刻膠或其他材料，蝕刻速率變化，可以實時設置和調整參數。機器人樣品更換器也可以連接到UnityM進行自動控制和快速樣品加載。TOKYO ELECTRON UNITY M的先進工藝工具允許改進晶圓均勻性，具有低失真和均勻的圖樣和鋁箔形成。它還減少了使用自動校準功能裝備可重復配方所需的時間。TEL UNITY-M還擁有用於危險材料和短路控制的高級安全功能。UNITY-M有一個控制模塊，可以一鍵設置多個蝕刻參數配方。其直觀的用戶界面還支持使用TEL性能監控工具進行遠程控制和數據共享。這提供了詳細和準確的過程控制,以確保提高產量和性能。此外，TEL/TOKYO ELECTRON Unity M比其他系統消耗更少的功率和材料，平均功耗為500W。它在人事成本方面也很有效，能夠執行簡單和復雜的蝕刻過程。TEL Unity M可以大大提高蝕刻和剝離工藝的效率，降低生產成本。它還提供各種功能,以提高流程性能和縮短周期時間。因此，它是一種用途廣泛、功能強大的核酸表面蝕刻器/灰化器，能夠以較低的成本取得優異的蝕刻效果。