二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity ME 45D #293615959 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY ME 45D是一種用於半導體制造的蝕刻器/asher。這種單室幹法蝕刻器/asher既適用於批量生產線，也適用於研發應用。TEL Unity ME 45D可以蝕刻多種材料，包括矽、氧化物、氮化物、聚矽和金屬，蝕刻時損耗或吸收比例較低。ME 45D設計為單室，有兩套淋浴頭和兩套基板支架。這樣可以同時蝕刻兩種基材。它還具有三級渦輪分子泵的高真空系統，以提高蝕刻精度。蝕刻器/Asher配有許多過程控制單元,使蝕刻器/Asher能夠保持蝕刻過程所需的精確條件。ME 45D由垂直安裝的控制面板控制,它允許操作員調整蝕刻時間、蝕刻壓力和其他參數以精確蝕刻結果。ME 45D還配備了氣體混合和現場診斷系統，以監測過程並確保蝕刻過程的準確性。氣體混合系統能夠精確控制蝕刻過程中所用氣體的流量和比率。ME 45D還具有安全功能，包括惰性氣體泄漏探測器、緊急通風和泄漏檢測系統。此外，ME 45D有一個高效的洗滌器單元，用於捕獲蝕刻過程中產生的任何微粒和氣味。ME 45D是一種幹法蝕刻器/灰化器,具有多種蝕刻功能、精確控制、易於維護和用戶安全功能。這種組合確保它是半導體制造的理想蝕刻器/灰化器。