二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity ME 85 DRM #293610374 待售
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已售出
ID: 293610374
晶圓大小: 4"-8"
優質的: 2013
Dielectric etcher, 4"-8"
(4) Dry pumps
Mainframe
DRM Process chamber
YASKAWA XU-BDB1300 Transfer robot
STP-A1303W1 Turbo pump
ENI GHW-25A RF Generator
Process gases: C4F8, O2, Ar, He, CHF3
RF Rack
AC Rack
Monitor
Part number / Description
1D10-150053-11 / Bottom electrode
1D10-204338-13 / Upper electrode
1D10-350791-11 / Focus ring
1D10-102848-13 / Plate baffle
1D10-315183-15 / Shield depo
1D05-300354-11 / Ring insulator
1D10-204418-12 / Cover bellow
Does not include Hard Disk Drive (HDD)
2013 vintage.
TEL Unity ME 85是一種蝕刻/灰燼設備，旨在有效處理具有多種基材的晶片。它是市場上最先進、最可靠的蝕刻/灰分系統之一,晶圓尺寸可達10英寸。該系統配備了多腔室和多區金屬氧化物半導體（MOS）蝕刻器/灰燼，允許其他類型的系統無法達到的控制水平。該裝置還具有先進的擴散和沈積室，能夠精確控制蝕刻/灰分工藝，並能夠快速、均勻地處理晶片。此外，TOKYO ELECTRON UNITY ME 85還配備了自動晶片裝載機，可以快速高效地裝卸機器。TEL/TOKYO ELECTRON UNITY ME 85利用先進的等離子體阻抗控制（PIC）工具，對等離子體進行更精確的控制，從而實現均勻的蝕刻/灰分處理。此外，資產有一個增強的冷卻模型，以盡量減少晶圓溫度變化，允許精確和可重復的過程。此蝕刻/灰分設備還提供了PC GUI的可配置配方,可根據特定需求快速定制流程,並具有多通道熱限制系統,以確保精確的溫度控制和一致性。TEL Unity ME 85除了在蝕刻/灰燼過程中的精確控制和精確度外，還具有較高的吞吐量速率，使其能夠每分鐘處理多達五個晶圓。這使得該設備非常適合大容量蝕刻/灰燼應用,因為它縮短了周期時間以實現最大的吞吐量和生產率。總體而言，TOKYO ELECTRON UNITY ME 85是一款先進的蝕刻/灰分機，結合了精確的控制、均勻的處理和高通量，使其成為任何半導體應用，尤其是那些需要快速、均勻的蝕刻/灰分處理的有吸引力的工具。
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