二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity ME 85 DRM #293648350 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY ME 85 DRM是一款高級蝕刻器/asher，設計用於MEMS/NEMS和高級封裝應用。它能夠沈積多層不同厚度的薄膜，用於制造多種微電子器件，包括MEMS和NEMS器件。Unity ME 85是一種模塊化設備,可以根據特定的客戶要求輕松修改,例如額外的壓力和溫度控制、定制的薄膜沈積速率等等。該系統配備革命性的數字氣體旁路單元、多級溫度控制、高頻電源。這使機器能夠提供可靠和可重復的薄膜沈積速率以及一致的薄膜特性和表面光潔度。該工具配備了超低壓沈積特性，以及大面積等離子體表面制備窗口，允許底物處理，汙染最小。資產還設有氣體輸送歧管和電子模塊，可精確控制氣體輸送壓力和流量。Unity ME 85還具有真正的4軸運動控制體系結構,它便於多層薄膜沈積,對薄膜寬度和均勻性進行精確控制。此外,實時監控模型同時顯示過程條件和產品特性,使操作員能夠快速響應不斷變化的條件。Unity ME 85最具創新性的特性之一是其專有的薄膜蝕刻模式，它允許從10nm到1000nm精確操縱薄膜厚度。該設備獲得專利的雙等離子源系統提供高度輪廓化的表面光潔度，以及在蝕刻成困難材料時的高長寬比。該裝置還配備了膜洗滌機，確保蝕刻產品完全沒有任何可能存在的灰塵顆粒。Unity ME 85為高級封裝應用程序提供了理想的解決方案,可在多種基材和材料上提供高吞吐量和過程可重復性。該工具還設計為符合SEMI和ATRM標準,確保與各種薄膜工藝的兼容性。