二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity ME 85 #9286040 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY ME 85是一款先進的蝕刻/asher設備，設計用於蝕刻和灰化工藝。系統是Evolution Unit-type Eller/Wet Etcher （EUE）。EUE是一種雙面蝕刻和灰化室，通過獨立的蝕刻/灰分控制和兩者之間的無縫過渡提供均勻性。蝕刻過程既利用了氧化物去除功能，又利用了抗蝕刻功能，兩者都可以進行精確精確的調整，以獲得最佳的處理結果。該單元與標準和高長寬比晶片兼容，可支持75mm-125mm的灰光應用。它還預先設置了基於等離子體或紫外線的蝕刻選項,以及一系列蝕刻/灰室與晶片尺寸比的選項。除了蝕刻和灰化功能外,TEL Unity ME 85還提供了一系列其他功能,使其成為許多應用程序的理想選擇。它具有方便的負載鎖定和射頻以及控制溫度、直流偏差、自動校正和機器範圍的診斷和警報的能力。它也被認證用於12種不同的氣體進行蝕刻，以及氧化劑和非氧化劑的各種組合。它可以同時監測多達四種氣體，並配有傳感器和探測器的可調端口，以幫助保持流程平穩高效運行。該工具還有一個國際服務網絡作為後盾，以便能夠快速方便地完成其組件的服務和維護。為確保最高級別的安全和性能,TOKYO ELECTRON UNITY ME-85還通過了UL/CSA、CE和VDE標準的認證。總體而言，TEL/TOKYO ELECTRON UNITY ME-85是一種可靠和高效的蝕刻/粉碎器資產，可提供各種工藝所需的高精度。其精密的特性、全面的安全和性能標準以及便捷的服務和維護協議使其成為任何蝕刻和灰化應用的絕佳選擇。