二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity SP #9284470 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY SP是一種最先進的全自動蝕刻器/asher,旨在以最短的時間和精力產生高質量的蝕刻結果。通用設備由主蝕刻單元和一個鋼預蝕刻室組成。主蝕刻裝置具有溫度可調的獨立熱區和開放式框架加工室，便於快速交換晶圓。預蝕刻室設有高流量泵，能夠達到高蝕刻速度和大通量。TEL Unity SP既有手動操作模式，也有自動操作模式，提供對蝕刻過程的完全控制。包括觸摸屏接口和PC在內的控制系統可確保所有蝕刻參數的高精度。真空由高效渦輪分子泵提供，允許清潔、快速的蝕刻環境。TOKYO ELECTRON UNITY SP中也有排氣和保護溫度報警器等先進的安全功能。無論您需要幹蝕刻還是濕蝕刻,系統都是高效、均勻性和結果可重復性的系統。Unity SP能夠蝕刻最復雜的基板，從納米凹槽到整個基板，不需要任何額外的設備。此外，其先進的氣候控制裝置能夠對敏感材料和基板進行高精度的低溫蝕刻。此外，TEL/TOKYO ELECTRON UNITY SP提供先進的垂直再循環泵，高效、均勻的蝕刻，邊緣形成最小。水泵確保蝕刻化學品和低化學品廢物的均勻分配，提供高水平的蝕刻結果。外室按順序向加工室供應蝕刻氣體，並在蝕刻過程中將加工室排空。總體而言,TEL Unity SP 蝕刻器/asher是最先進的機器,旨在提供市場上最精確的蝕刻結果。其功能豐富的設計允許輕松、快速和高效的操作,同時提供一致、幹凈和高性能的蝕刻結果。