二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity Ver.II 65DI #293643508 待售

TEL Unity Ver.II 65DI是一種高度先進的蝕刻器/asher,設計用於半導體制造的晶片的最佳蝕刻和灰化。它能夠處理各種晶圓尺寸,使其成為一種通用且有效的蝕刻和灰化任務解決方案。TOKYO ELECTRON UNITY Ver.II 65DI的最大底物尺寸為6英寸（150毫米）。它支持高達1,150°C的基板溫度，並包括一個空氣軸承級，使晶片能夠均勻、可重復的蝕刻和灰化。有一個實時的光學視頻監控設備，可以觀察蝕刻和灰化過程，確保質量保證。顯示器系統與自動加載單元相結合，使重復、執行和精確監控流程變得更加容易。蝕刻/灰化過程由一對自動定位器和EGA門管理。EGA閘門能夠控制蝕刻的通量、壓力和深度，從而獲得更精確的結果。此外，還可以在設備中添加一個可選的離子源，從而加快底物的蝕刻和灰化速度。Unity Ver.II 65DI 蝕刻器/asher專為高吞吐量和高效率而設計。它支持經濟時間蝕刻工藝,通過提高蝕刻速度和灰度速度來減少工藝時間.此外，廣泛的氣體，包括溴化氫（HBr）和氯（Cl2），可以用來產生高度可控和一致的蝕刻輪廓。該單元可以通過多種選項進行擴展，使其同時適用於研發和生產應用。TEL/TOKYO ELECTRON UNITY Ver.69DI 蝕刻器/asher是一種高效、快速、精確的晶圓和基板蝕刻和灰化解決方案。其多功能性和自動控制機使其成為任何蝕刻和灰化工藝的絕佳選擇。