二手 TEL / TOKYO ELECTRON UNITY Vera85 DPATC #9145468 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON UNITY Vera85 DPATC是一種蝕刻器/asher,用於半導體器件的過程控制和陣列。它配備了集成的等離子體源技術,它與所有反應性氣體具有極好的兼容性,能夠在工藝應用中實現更廣泛的功能和更高的準確性。該設備設計小巧且相對輕巧,占地面積很小,適合大多數實驗室環境。它的高分辨率液晶屏允許精確的陣列和過程控制。Vera85 DPATC具有基於配方的自動蝕刻和高速、高分辨率光刻功能。這樣可以使用更精確的模式實現更快的生產周期,從而使用戶可以處理更大面積的車牌。它還有一個內置的成像系統,以提供關於板質量的微觀反饋,使其更容易產生精密的模式與較少的缺陷。其集成工藝工具包括等離子體發電機控制模塊(PGD)、電源管理以及用於過程監控的分析傳感器。此蝕刻器/asher專門為直接陣列傳輸(DPT)應用程序(如MEMS、光電和HBML應用程序)設計。其先進的基於等離子體的技術適用於任何非揮發性材料,包括單晶圓和Open-Frame蝕刻。其集成的高密度診斷功能還可以實現流程優化。它的自動化系統設計有助於減少中斷處理的機會,而其高級數據處理程序則提供詳細的處理質量報告。Vera85 DPATC還具有64位處理器,能夠執行不同的進程控制任務。可以將其編程為執行穩定、汙染預防和優化等過程場景。其LED觸摸面板可進行調整,使每個隨機接入位具有不同的電源級別以優化性能。這允許用戶對蝕刻過程進行精確控制。TEL UNITY Vera85 DPATC是所有DPT應用程序的理想邊緣蝕刻器和粉碎器。它的自動化系統和先進的技術使它成為一個高效和精確的機器質量處理。其用戶友好的設計和功能使其成為有經驗和新手用戶的絕佳選擇。
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