二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity #293665143 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY是一款具有高通量的蝕刻器/Asher,其設計既能滿足先進的光刻生產需要,又能滿足小批量原型制作應用的需要。蝕刻器/asher具有模塊化設計,允許用戶從各種組件中進行選擇,以根據特定的工藝需求配置蝕刻器。該蝕刻器具有較大的腔室和較高的吞吐量，使用戶能夠快速處理大型基板。該機具有旋轉傾斜敏感器，在各種基板上既具有均勻性又具有均勻的蝕刻深度。蝕刻器/asher還包括閉環傳感器，以提供精確的過程監控和可重復的結果。TEL Unity兼容多種氣體和蝕刻配方，使得從一臺機器蝕刻不同材料成為可能。蝕刻器/粉碎器設計幹凈，可減少化學汙染；它的不銹鋼腔室和抽水排氣系統使它易於使用和清潔。TOKYO ELECTRON UNITY還具有高度自動化的功能，包括自動氣流控制和自動配方選擇。該蝕刻器/asher設計為既方便用戶又可靠,具有直觀的控制,並在出現問題時自動關閉安全。Unity易於擴展，附加了高速銅塗層、升華、等離子體活化等特殊工藝工具等配件。憑借其先進的功能，TEL/TOKYO ELECTRON UNITY為用戶提供了無與倫比的靈活性和易用性。