二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity #9142639 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY是一款用於半導體制造的最先進的蝕刻器/asher。它旨在為當今先進的半導體技術提供卓越的高精度蝕刻和灰化性能。該平臺基於模塊化設計，使其能夠配置廣泛的選項，使其適合大多數半導體工藝。該設備采用了幹蝕刻、濕蝕刻、灰化、緩沖和鉬蝕刻等全系列工藝，並結合了先進的薄膜蝕刻技術以實現更精細的工藝。它還設計為在所有蝕刻工藝中提供高精度、緊密公差和卓越精度。系統的設計有助於確保高效可靠的運行。蝕刻器/asher包括一個高密度的ECR源，有助於最大限度地減少暴露於危險電場，並且還配備了一個全面的等離子體源單元，以實現最大的蝕刻性能，包括等離子體優化管理。該機還提供多種工藝選擇，如調節功率和氣體控制值、真空混合物以及基板與氣體的比值管理。這確保了高精度的蝕刻和灰化操作,無論過程有多復雜。此外，該工具便於維護和升級。用戶可以輕松地在其設置中添加新的進程和組件,例如更改ECR源的類型,或者使用最新的軟件和處理器升級資產。它還提供遠程訪問功能,允許用戶從多個位置訪問模型的技術數據、流程、信息數據庫和服務手冊。TEL Unity是制造最優秀半導體元件的強大工具,提供卓越的性能、可靠性、可擴展性和經濟性。其先進的特性,加上全面的工藝控制,使其成為當今復雜半導體工藝的理想解決方案。