二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity #9146219 待售

TEL/TOKYO ELECTRON UNITY是半導體工藝中使用的關鍵蝕刻設備。它配備了單一晶片幹等離子體灰光機，可以進行先進的材料蝕刻沈積工程。該系統采用革命性的新升級設計,強調更好的性能、可靠性和生產率。蝕刻單元將多個過程集成到一個模塊化機器中，實現了高效、自動的化學交換過程。TEL Unity以真空室為基礎，其內部由幹凈、惰性的材料構成。在腔室中通過後部連接的渦輪分子泵建立一個疏散氣氛。在內部,可移動電極支架將樣品固定在適當的位置。PMAC（電源監控和控制）允許在整個蝕刻過程中進行精確的電壓、電流和頻率調制控制。該流程通過觸摸屏用戶界面進行控制,該界面具有一個板載流程庫,其中包含超過15種流程配方。該工具符合SEMI標準,接口與客戶的自動化系統兼容。ECO操作模式有助於確保最佳處理時間和成本。TOKYO ELECTRON UNITY具有多種特性，使資產可靠高效。自動調節技術通過控制基於用戶定義參數的調節來消除手動規劃。此外，石英多晶矽晶片蝕刻模式實現了高度的各向異性和極其緊密的輪廓控制。蝕刻結果的均勻性是行業領先的一個方面。即使在復雜的幾何中,輪廓控制和特征並行也保持嚴格且符合要求。Unity易於維護,具有可快速交換的耗材和遠程故障排除功能。蝕刻模型是為可重復性和可維護性而設計的，因此用戶能夠在幾個晶片上重現完全相同的蝕刻條件。此外,還會通過PMAC控制器的監控設備向用戶發出任何問題的警報。得益於流程反饋系統，用戶可以實時跟蹤蝕刻配方。TEL/TOKYO ELECTRON UNITY是一款功能強大、用途廣泛的蝕刻裝置，非常適合工商業應用。它為高級蝕刻和沈積項目提供了最高水平的性能、可靠性和成本效益。它的設計采用了最新的技術，因此用戶可以確定他們的蝕刻過程是可重復的，並且結果是統一和優化的。