二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity #9176469 待售
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ID: 9176469
Ti/TiN CVD Cluster system.
Water pump
Process module 4 trap
Water flow box
Main body
Gas box
Cooling & process module 6 pump rack
UPS Process module 3 trap rack
Module rack
Chiller HIA
Process module 4 trap rack
Transfer & process module 3
(4) Pump racks
Gas Injectors
Signal cables
Tables
Sub-assemblies
Main power distribution
Utility water air rack
Unity controller
Chiller
(4) Pumps
UPS
Valves
Transformers.
TEL/TOKYO ELECTRON UNITY是一款完全集成的濕蝕刻和灰化設備。這種業界領先的蝕刻器和asher為用戶提供了高度可靠的處理,具有持久的穩定性和較低的維護要求。TEL Unity系統利用高端濕蝕刻技術處理各種基材和材料表面。濕蝕刻工藝利用電離蝕刻介質,如純水、水性化學溶液或蒸氣蝕刻劑,有效蝕刻和去除不需要的材料,以便進行表面清潔、制圖和/或層轉移。灰化過程利用幹蝕刻過程剝離材料層以創建圖樣和特征。TOKYO ELECTRON UNITY單元利用了一系列強大的加工室大小,從小型基準系統到大型生產系統,為用戶提供了各種不同工藝的功能。該機還設計為與各種工藝氣體和化學輸送系統兼容,允許同時使用濕蝕刻和幹蝕刻。Unity工具配備了先進的安全功能,如空氣產生的超濾器、化學過濾器、化學排氣洗滌器資產等。此外,該模型符合危險作業的SEMI保障標準。TEL/TOKYO ELECTRON UNITY設備具有集成的圖形用戶界面(GUI),便於設置和控制,包括過程流和參數輸入、程序管理以及數據顯示。該系統還集成了流程配方管理和數據歸檔,以提高可追蹤性。其內置顯示使用戶能夠實時監控每個流程的進度,並相應調整參數。TEL Unity部門還能夠與各種外部系統(如流程監測和控制系統)連接,以提高自動化和效率。TOKYO ELECTRON Unity machine是一款理想的解決方案,適合希望實現高性能、可靠、低維護處理的用戶,用於各種濕蝕和幹蝕操作。憑借先進的安全特性、堅固的腔室構造、人性化的GUI,Unity工具成為半導體、數據存儲、先進材料處理的熱門選擇。
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