二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity #9316179 待售
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ID: 9316179
Metal CVD system, 8"
Process: TiN
Main body
Power supply
Power rack
Trap
Cable
Panel
Accessories
Transformer.
TEL/TOKYO ELECTRON UNITY是一款利用高度精確的蝕刻技術並具有全自動和高效操作的蝕刻器/asher。它能夠產生具有廣泛蝕刻能力的高精度和高通量蝕刻結果。TEL Unity是一款用途廣泛的機器，可用於廣泛的蝕刻過程，從深反應性離子蝕刻（DRIE）到等離子體增強蝕刻（PEE）。其先進的蝕刻技術促進了廣泛材料的蝕刻，包括金屬、聚合物、陶瓷和玻璃。TOKYO ELECTRON UNITY具有全自動和高效的操作,用戶幹預最少,從而實現卓越的吞吐量和均勻性。自動鎖定機制使蝕刻過程具有高度的可重復性和可靠性，實現了無縫集成。此外,Unity還配備了多種電源設置,使用戶能夠針對每個蝕刻過程相應調整輸出功率。其直觀的用戶界面允許輕松操作和維護。TEL/TOKYO ELECTRON UNITY的模塊化設計提供了高度的靈活性和適應性。其占地面積小，適合狹小空間使用，模塊化性質，便於運輸和重新配置。其直觀的用戶界面簡化了對蝕刻過程的監控，為用戶提供了提高蝕刻過程效率的寶貴實時信息。TEL Unity的設計目的是協助可靠地生產適合50 nm以下功能尺寸的定制口罩、基板和材料。其先進的蝕刻能力提供了極高的蝕刻精度，使其適合用於各種納米技術過程，包括微電子。TOKYO ELECTRON UNITY是一款多功能機器，旨在提供可靠、高效、精確的蝕刻工藝。適用於廣泛的應用，從微電子到深層反應性離子蝕刻，其先進的蝕刻能力可以根據用戶的需求進行調整。從高效的操作和模塊化設計到直觀的用戶界面和高水平的靈活性，Unity是各種蝕刻工藝的理想選擇。
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