二手 TEL / TOKYO ELECTRON Unity #9316187 待售
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ID: 9316187
Metal CVD system, 8"
Process: TiN
Main body
Power supply
Power rack
EDWARDS TDV4 System
(2) Traps
Cable
Panel
Accessories.
TEL/TOKYO ELECTRON UNITY是一款為生產全密封晶片而設計的蝕刻/開發機器。該工具用於制版、蝕刻和沈積化學機械拋光材料。它能夠為晶片提供一個適用於制造先進半導體器件的平坦表面。該機器能夠產生高分辨率模式，從而能夠開發新的設備。它支持濕蝕刻和幹蝕刻，其蝕刻機構能夠精確控制加工過的晶片中材料層的形狀和厚度。此外,它的大腔室可實現高通推式。TEL Unity蝕刻器由主蝕刻室和預蝕刻室組成，允許在同一循環中進行多次操作。在主室內部，離子被註入到基質上進行蝕刻。主室還裝有可移動的機器人臂，用於將基板從一個腔室轉移到另一個腔室，包括預蝕刻腔室。然後將基板裝入主腔室，在那裏進行蝕刻過程。蝕刻過程從將氣體混合物如CF4引入蝕刻室開始。氣體混合物然後被電離成離子，然後被引導到底物上。離子與底物反應蝕刻成形。可以控制該過程，使蝕刻深度和側壁角度精確。蝕刻完成後，蝕刻溶液沖出主室。然後將晶片轉移到一個後蝕刻室，該室用於下遊過程，如化學機械拋光和抗蝕條。TOKYO ELECTRON UNITY蝕刻器是半導體器件開發的理想工具，因為它提供了精密蝕刻能力和高通進位。它能夠產生精確、精確的圖樣和圖層類型,使其成為開發尖端設備的理想選擇。
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