二手 TEL / TOKYO ELECTRON Vesta #9315096 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Vesta是為半導體工業設計的高性能蝕刻機（或asher）。它采用等離子體蝕刻和粘合技術相結合，在矽片和其他基板的表面上創造出精確和可重復的特征。該機由底座、等離子體蝕刻室和粘合站組成，另外還有用於熱控制、冷卻和額外安全的部件。等離子體蝕刻室容納反應性材料，通常是特氟龍陽極和加熱陰極。等離子體在腔內產生，允許控制底物的蝕刻。腔室連接到氣體控制系統，該系統允許在腔室運行時根據需要引入反應性氣體。粘合站允許通過電線粘合連接單獨的元件，從而提供更高的成品結構完整性。整個系統都設有溫度傳感器，可以精確控制腔室和工件的溫度。TEL Vesta設計為在真空環境中運行，提供最一致和準確的蝕刻。這樣可以更好地控制蝕刻速率和配置文件,以及更高程度的邊緣定義和可重復性。借助先進的運動控制，機器可以精確蝕刻寬度高達600萬英寸的特征。該機還配備了安全功能，如一套氣體傳感器和減壓閥，可保護操作員，防止由於腔室過壓造成損壞。機器完全封閉在一個大的金屬框架中，允許在操作過程中最大限度的保護。TOKYO ELECTRON Vesta是一個最先進的蝕刻和鍵合系統，提供可靠的操作和一致的結果。它具有先進的控制和安全特性，非常適合在半導體工業的矽片和其他基板上生產高質量的特性。