二手 TEL / TOKYO ELECTRON Vigus harc #9244885 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Vigus harc是設計用於半導體製造過程的蝕刻器或asher。該設備以微波等離子體增強化學氣相沈積（PECVD）為基礎，用於以氧化物、氮化物或金屬層的形式在晶片上沈積矽、氙等材料的薄膜。該蝕刻器具有由低壓電容耦合射頻放電電池組成的等離子體源。該系統配備了多模式電源，能夠用廣泛的等離子體氣體進行蝕刻，如氧氣、四氟甲烷、CF4、氯氣和氮氣，以及這些氣體的組合。蝕刻室設有耐化學的內壁和密封真空單元。一個特殊的加熱單元連接到腔室，以使蝕刻過程溫度最小化，從而可以優化蝕刻結果。TEL Vigus harc蝕刻器適合於接受不同尺寸的晶片，直徑從2英寸到12英寸。該機器設計為易於使用，包括一個帶有圖形用戶界面（GUI）的控制控制臺，以訪問所有的工具設置，使過程配方便於編程和修改。蝕刻器的設計也非常可靠，符合安全和產品質量所需的行業標準。它的高級監視資產能夠在出現異常時快速檢測到任何問題並向操作員發出警報。車載通信模式還能夠快速向其他連接的設備和系統發送通知，從而實現更好的流程監控。總之，TOKYO ELECTRON Vigus harc蝕刻器是一種可靠、靈活的蝕刻解決方案，具有更高的安全性和產品質量。其先進的等離子體源和處理能力使其成為半導體制造過程的理想工具。