二手 TEL / TOKYO ELECTRON Vigus harc #9244886 待售

TEL / TOKYO ELECTRON Vigus harc
ID: 9244886
優質的: 2009
Etcher 2009 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Vigus harc是一種蝕刻器/asher,用於對有價值的底物如半導體和其他薄膜材料進行極其精確的蝕刻和清洗。TEL Vigus harc是一個基於濕式的系統,具有串聯設計,可確保更高的吞吐量速度、更寬的處理窗口和更好的一致性。該機采用雙真空蝕刻室設計,在蝕刻/清洗操作中允許最大程度的工藝靈活性,並對每個工藝室進行完全隔離。這確保了一個操作產生的蒸氣不會被帶到另一個操作,確保在另一個操作室中處理過程中產生的化學物質或蒸氣不會影響到細膩的底物。TOKYO ELECTRON Vigus harc也有獨特的方向性-軸流式設計,通過註重均勻性保證了更高的收益率,允許過程精確執行。這是通過過程液體的定向流動和沿腔室中心軸的蝕刻氣體來實現的。然後將基板放置在腔室的中心,以實現最大程度的均勻性,並應用蝕刻或清洗工藝。該機具備多種操作安全先進的特點,如反應堆氣體分配單元、溫度控制、電子致動閥、外置洗滌器惰性氣體控制、高性能真空系統等。機器上的電氣聯鎖門有助於確保安全的操作環境。簡而言之,Vigus harc是一種精密的蝕刻器/asher,用於精密蝕刻和清潔細膩的基板如半導體。其新穎的雙真空蝕刻室、定向軸流設計和先進的特點使其成為高速、均勻、安全的蝕刻和清洗操作的寶貴工具。
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