二手 TEL / TOKYO ELECTRON Vigus harc #9351473 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Vigus harc是一種最先進的蝕刻和灰化工具，用於半導體、電子和其他需要微制造技術的行業的廣泛應用。它是一種全自動工具,可提供高精度的蝕刻和灰化功能,並具有可變的功率和熱性能。該設備還提供可選的沈積和沈積蝕刻工藝。TEL Vigus harc etcher/asher由32位RISC處理器和專有GUI軟件控制。GUI軟件允許操作員輕松設置和監視流程參數。該系統的用戶友好型設計還使操作員能夠訪問高級制造技術,如多孔等,因為該單元易於定制。TOKYO ELECTRON VIGUS harc機具有一系列的攪拌方案，旨在避免材料過度蝕刻和不足蝕刻。可以在潮濕和等離子體環境中進行蝕刻和灰化。該工具還具有熱資產，它允許精確的溫度均勻性在蝕刻和灰化過程。Vigus harc型號配備了先進的安全措施，如回填和熱處理、緊急報警、三重電源開關等。該設備還包含內置的安全機制，以保護操作員免受電擊和氣體毒性水平的影響。TEL/TOKYO ELECTRON Vigus harc系統高度靈活多用途，允許定制特定蝕刻和灰化工藝。該單元還包含開放式體系結構軟件，可自定義該軟件以滿足每個用戶的特定需求，並針對流程優化進行調整。TEL Vigus harc機器使用的蝕刻劑與用於背蝕應用的類似，可用於多種不同的基板上，包括玻璃、陶瓷和聚合物。該工具還支持一系列標準和高級流程,包括需要特殊清除系統的流程。此外，TOKYO ELECTRON Vigus harc資產與多種工藝氣體相容，如氦氣、氙氣、氮氣和氫氣，使其成為許多行業的理想蝕刻和灰化溶液。